24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3528)
>虫友互识 (1261)
>休闲灌水 (255)
>导师招生 (203)
>文献求助 (125)
>论文投稿 (84)
>考博 (47)
>博后之家 (44)
>硕博家园 (42)
>考研 (39)
>基金申请 (36)
>招聘信息布告栏 (29)
>找工作 (28)
>教师之家 (24)
>公派出国 (21)
>论文道贺祈福 (18)

返回列表

漫步云端008

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3.3
帖子: 31
在线: 33.4小时
虫号: 3160673

[交流] 请问有人做双极性磁控溅射镀钛氧薄膜吗？求教

本人刚接触磁控溅射镀膜，想用双极性磁控溅射镀膜制备碳掺杂钛氧薄膜，电源是直流/单极性/全对称双极性磁控溅射，请问采用双极性时怎么调节两个靶材（碳靶和钛靶）的功率，文献说调节脉宽比可以调节两个靶材的不同功率，貌似我们电源只能调电压、电流、功率、频率、占空比这些参数。有做这方面研究的吗？另外，问一下双极脉冲直流磁控溅射是不是就是双极脉冲磁控溅射，查外文文献很多写脉冲直流磁控溅射的，被这些概念搞晕了。求赐教！

回复此楼

» 猜你喜欢

《国家自然科学基金资助项目计划书》是不是现在还不能填写？已经有4人回复
自然基金计划书里这一条意味着什么？已经有15人回复
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费? 已经有140人回复
各位大佬帮忙看看评审意见，对应什么评级？已经有15人回复
自然基金的结题成果是就高不就低吗？已经有4人回复
请问我这篇论文可以挂刚中的面上项目资助号吗？已经有8人回复
论文投稿求助已经有2人回复
大家觉得主持一项自然基金面上项目和国家重点研发项目的课题哪个认可度高？已经有17人回复
请问自然基金重点项目是必须针对指南里列的项目申请吗？已经有0人回复
请问ieee tpe拒稿重投一定得等两个月吗已经有5人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜已经有4人回复
磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢？已经有32人回复
拉曼光谱仪测试磁控溅射薄膜求教已经有17人回复
磁控溅射做薄膜失败了吗已经有21人回复
请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？已经有22人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2015-05-25 18:08:12

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

springburn

至尊木虫 (文坛精英)

应助: 11 (小学生)
金币: 40259.2
帖子: 37449
在线: 935.7小时
虫号: 2927204

★
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与

http://www.researchgate.net/prof ... b24948ad0000000.pdf

赞一下

回复此楼

5楼2015-05-25 18:35:16

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

漫步云端008

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3.3
帖子: 31
在线: 33.4小时
虫号: 3160673

引用回帖:

5楼: Originally posted by springburn at 2015-05-25 18:35:16
http://www.researchgate.net/profile/Xiujian_Zhao/publication/230673134_Effect_of_the_ratio_of_oxygen_to_argon_and_thermal_treatment_on_the_structure_and_hydrophilicity_of_TiO2_thin_films_coated_on_gl ...

这个是直流反应磁控溅射的，跟双极性的不一样，不过还是谢谢