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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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漫步云端008

新虫 (初入文坛)


[交流] 请问有人做双极性磁控溅射镀钛氧薄膜吗?求教

本人刚接触磁控溅射镀膜,想用双极性磁控溅射镀膜制备碳掺杂钛氧薄膜,电源是直流/单极性/全对称双极性磁控溅射,请问采用双极性时怎么调节两个靶材(碳靶和钛靶)的功率,文献说调节脉宽比可以调节两个靶材的不同功率,貌似我们电源只能调电压、电流、功率、频率、占空比这些参数。有做这方面研究的吗?另外,问一下双极脉冲直流磁控溅射是不是就是双极脉冲磁控溅射,查外文文献很多写脉冲直流磁控溅射的,被这些概念搞晕了。求赐教!
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springburn

至尊木虫 (文坛精英)


5楼2015-05-25 18:35:16
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漫步云端008

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
5楼: Originally posted by springburn at 2015-05-25 18:35:16
http://www.researchgate.net/profile/Xiujian_Zhao/publication/230673134_Effect_of_the_ratio_of_oxygen_to_argon_and_thermal_treatment_on_the_structure_and_hydrophilicity_of_TiO2_thin_films_coated_on_gl ...

这个是直流反应磁控溅射的,跟双极性的不一样,不过还是谢谢
12楼2015-05-25 21:05:29
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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13楼2015-05-25 21:47:38
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2015-05-25 18:25   回复  
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dmbb3楼
2015-05-25 18:28   回复  
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wasxnbe8楼
2015-05-25 18:38   回复  
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假大空10楼
2015-05-25 18:41   回复  
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Jameskelly11楼
2015-05-25 18:42   回复  
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