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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 寻求出售成品ITO玻璃刻蚀液的卖家,另自己做ITO刻蚀出现问题,求指点 已有2人参与

我在做ITO玻璃的刻蚀,图形最小尺寸达到20um。所以我用的光刻胶是正胶PR1-1000,刻蚀液我用的硝酸和盐酸配的,HCl:H2O:HNO3=50:50:3,但是我刻蚀的时候不管ITO玻璃上曝光没曝光的地方,一律都被我配的刻蚀液刻蚀掉了。。。。我现在分析有3个问题,一个是正胶PR1-1000过期导致不能挡住刻蚀液的刻蚀,但是我师兄说没事,只要光刻胶不被光照过,过期一点点可以正常使用;第二就是刻蚀液配的不对,虽然我是根据国外的一个专利来弄的,所以我想直接买成品的,毕竟ITO玻璃的刻蚀工艺已经很成熟了,我不想花时间自己去探索工艺了,这部分工作也没法出彩,出论文。ps: 我还怀疑我是不是要换一种光刻胶了? 我是个新手,求懂这方面的指点下。
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

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5楼2015-12-28 20:47:48
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
baopkbao: 金币+10, ★★★很有帮助, 感谢回帖,希望能提供卖家公司和试剂的型号 2015-03-27 10:22:18
我们一般都用草酸做ITO腐蚀,买的也是成品的腐蚀液。
你的光刻胶估计扛不住强酸,一般光刻胶都扛不住,建议换腐蚀液。也可以换别的胶试试。
2楼2015-03-25 17:01:37
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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-25 17:01:37
我们一般都用草酸做ITO腐蚀,买的也是成品的腐蚀液。
你的光刻胶估计扛不住强酸,一般光刻胶都扛不住,建议换腐蚀液。也可以换别的胶试试。

我先头也想过配草酸系列的刻蚀液,但是其中有一种成分,(草酸:三氟甲基苯磺酸:水=5:1:94 )中的三氟甲基苯磺酸我找不到卖家。你方便告诉我你们用的正胶和刻蚀液的型号和卖家公司吗? 我用的正胶是Futurrex的PR1-1000A。
另外,想问下光刻胶过期真的对使用没多大影响吗。。。?保质期是常温下1年,我们这个是在冰箱里放了3年了。。。
3楼2015-03-27 10:19:16
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杜xiao若

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by baopkbao at 2015-03-27 10:19:16
我先头也想过配草酸系列的刻蚀液,但是其中有一种成分,(草酸:三氟甲基苯磺酸:水=5:1:94 )中的三氟甲基苯磺酸我找不到卖家。你方便告诉我你们用的正胶和刻蚀液的型号和卖家公司吗? 我用的正胶是Futurrex的PR1 ...

你好,我也在做ITO的刻蚀,请问你的问题解决了么?能不能告诉我刻蚀的有效方法
4楼2015-12-28 15:38:43
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