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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于ITO导电玻璃的清洗
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想念熊

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于ITO导电玻璃的清洗 已有1人参与

求助大虾们
   选择ITO导电玻璃作为衬底，使用射频磁控溅射仪溅射氧化锌薄膜  ITO到点玻璃该怎么清洗 才能洗的更干净呢 之前用去离子水 丙酮 去离子水洗的不是很干净
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1楼 2013-05-13 15:20:50
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

mlp369

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-05-13 18:48:38
用浓H2SO4:H2O2=3:1,体积比，加热15分钟；超声清洗5分钟；
用氢氟酸：去离子水=1：10，体积比，清洗15分钟左右，超声清洗5分钟；
用去离子水超声清洗10分钟；
你清洗完了后用热风吹干，不要让硅片自然干，那样的 ...

貌似硅片是这样的，但ITO不能用酸吧……，否则导电层都腐蚀的没有了……
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4楼2013-05-13 23:55:46
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mlp369

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

镊子不锈钢的就好，放衬底的支架尽量化学稳定，如不锈钢或者聚四氟乙烯材质。清洗好的衬底浸泡于清洁的有机溶剂中，封闭容器口，短时间内如一两天内可超声清洗几分钟后即冲洗即使用。放置时间长了也不行，脏东西会重新吸附！
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12楼2015-09-24 23:48:02
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普通回帖

匿名

用户注销 (职业作家)
★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+6, 3q 2013-05-16 02:11:53
本帖仅楼主可见
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2楼2013-05-13 18:48:38
已阅   申请物理EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

mlp369

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+6, 3q 2013-05-16 02:12:08
1. 掩膜，拿酸刻蚀，清洗掉腐蚀液体，剥掉掩膜层得到想要的电极形状；
2. 清洗：
1>. 初次洗洁精清洗大块的污渍，清水冲洗后去离子水超声清洗除掉洗洁精；
2>. 然后用常规有机溶剂清洗，最后还是要用去离子水超声清洗。
3>. 干燥时用纯N气吹干比较好！
清洗时环境要清洁，戴口罩使呼吸不对着它，后面的清洗中用镊子接触，手套等不要接触！几天没有，用的时候还要清洗！比较麻烦、需要耐心！
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3楼2013-05-13 23:53:45
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beijingice

银虫 (小有名气)
只是清洗，油污不是很容易清除，清洗后在UV灯下照10分钟，ITO的残存油污就没了。
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逆水行舟
5楼2013-05-14 01:21:25
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想念熊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-05-13 18:48:38
用浓H2SO4:H2O2=3:1,体积比，加热15分钟；超声清洗5分钟；
用氢氟酸：去离子水=1：10，体积比，清洗15分钟左右，超声清洗5分钟；
用去离子水超声清洗10分钟；
你清洗完了后用热风吹干，不要让硅片自然干，那样的 ...

谢谢
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6楼2013-05-15 14:26:22
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想念熊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by mlp369 at 2013-05-13 23:53:45
1. 掩膜，拿酸刻蚀，清洗掉腐蚀液体，剥掉掩膜层得到想要的电极形状；
2. 清洗：
1>. 初次洗洁精清洗大块的污渍，清水冲洗后去离子水超声清洗除掉洗洁精；
2>. 然后用常规有机溶剂清洗，最后还是要用去离子 ...

谢谢
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7楼2013-05-15 14:26:32
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想念熊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by beijingice at 2013-05-14 01:21:25
只是清洗，油污不是很容易清除，清洗后在UV灯下照10分钟，ITO的残存油污就没了。

谢谢
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8楼2013-05-15 14:26:48
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yany14101

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
nono2009: 金币-5, 屏蔽内容, 违规存档, 请勿广告 2013-10-15 07:10:35
本帖内容被屏蔽
9楼2013-10-14 22:29:48
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yany14101

金虫 (小有名气)
nono2009: 屏蔽内容, 违规存档, 请勿广告 2013-10-15 07:10:46
本帖内容被屏蔽
10楼2013-10-14 22:30:45
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