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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于ITO导电玻璃的清洗
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想念熊

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于ITO导电玻璃的清洗 已有1人参与

求助大虾们
   选择ITO导电玻璃作为衬底，使用射频磁控溅射仪溅射氧化锌薄膜  ITO到点玻璃该怎么清洗 才能洗的更干净呢 之前用去离子水 丙酮 去离子水洗的不是很干净
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1楼 2013-05-13 15:20:50
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想念熊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-05-13 18:48:38
用浓H2SO4:H2O2=3:1,体积比，加热15分钟；超声清洗5分钟；
用氢氟酸：去离子水=1：10，体积比，清洗15分钟左右，超声清洗5分钟；
用去离子水超声清洗10分钟；
你清洗完了后用热风吹干，不要让硅片自然干，那样的 ...

谢谢
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6楼2013-05-15 14:26:22
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匿名

用户注销 (职业作家)
★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+6, 3q 2013-05-16 02:11:53
本帖仅楼主可见
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2楼2013-05-13 18:48:38
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mlp369

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+6, 3q 2013-05-16 02:12:08
1. 掩膜，拿酸刻蚀，清洗掉腐蚀液体，剥掉掩膜层得到想要的电极形状；
2. 清洗：
1>. 初次洗洁精清洗大块的污渍，清水冲洗后去离子水超声清洗除掉洗洁精；
2>. 然后用常规有机溶剂清洗，最后还是要用去离子水超声清洗。
3>. 干燥时用纯N气吹干比较好！
清洗时环境要清洁，戴口罩使呼吸不对着它，后面的清洗中用镊子接触，手套等不要接触！几天没有，用的时候还要清洗！比较麻烦、需要耐心！
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3楼2013-05-13 23:53:45
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mlp369

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-05-13 18:48:38
用浓H2SO4:H2O2=3:1,体积比，加热15分钟；超声清洗5分钟；
用氢氟酸：去离子水=1：10，体积比，清洗15分钟左右，超声清洗5分钟；
用去离子水超声清洗10分钟；
你清洗完了后用热风吹干，不要让硅片自然干，那样的 ...

貌似硅片是这样的，但ITO不能用酸吧……，否则导电层都腐蚀的没有了……
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2013-05-13 23:55:46
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