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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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想念熊

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于ITO导电玻璃的清洗 已有1人参与

求助大虾们
   选择ITO导电玻璃作为衬底,使用射频磁控溅射仪溅射氧化锌薄膜  ITO到点玻璃该怎么清洗 才能洗的更干净呢 之前用去离子水 丙酮 去离子水洗的不是很干净
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mlp369

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-05-13 18:48:38
用浓H2SO4:H2O2=3:1,体积比,加热15分钟;超声清洗5分钟;
用氢氟酸:去离子水=1:10,体积比,清洗15分钟左右,超声清洗5分钟;
用去离子水超声清洗10分钟;
你清洗完了后用热风吹干,不要让硅片自然干,那样的 ...

貌似硅片是这样的,但ITO不能用酸吧……,否则导电层都腐蚀的没有了……
4楼2013-05-13 23:55:46
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匿名

用户注销 (职业作家)


★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+6, 3q 2013-05-16 02:11:53
本帖仅楼主可见
2楼2013-05-13 18:48:38
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mlp369

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+6, 3q 2013-05-16 02:12:08
1. 掩膜,拿酸刻蚀,清洗掉腐蚀液体,剥掉掩膜层得到想要的电极形状;
2. 清洗:
1>. 初次洗洁精清洗大块的污渍,清水冲洗后去离子水超声清洗除掉洗洁精;
2>. 然后用常规有机溶剂清洗,最后还是要用去离子水超声清洗。
3>. 干燥时用纯N气吹干比较好!
清洗时环境要清洁,戴口罩使呼吸不对着它,后面的清洗中用镊子接触,手套等不要接触!几天没有,用的时候还要清洗!比较麻烦、需要耐心!
3楼2013-05-13 23:53:45
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beijingice

银虫 (小有名气)

只是清洗,油污不是很容易清除,清洗后在UV灯下照10分钟,ITO的残存油污就没了。
逆水行舟
5楼2013-05-14 01:21:25
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