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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 怎么除去ITO玻璃上的纳米二氧化硅？
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37364925

木虫 (正式写手)

[求助] 怎么除去ITO玻璃上的纳米二氧化硅？

实验的前期是在ITO玻璃上用纳米二氧化硅堆积做了个模板，二氧化硅是纳米级的，买的sigma的成品，粒径大概15纳米左右，现在想直接在ITO玻璃上直接除去二氧化硅又尽可能不对ITO玻璃造成损伤，有没有什么办法？纳米级的二氧化硅比导电玻璃活性更高，会更容易溶于氢氟酸或氢氧化钠吗？
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1楼 2013-08-02 11:09:07
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 谢谢 2013-08-02 15:03:38
37364925: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢支招 2013-08-02 15:20:34
不知道NaOH会不会管用，浓度不要太高的话，曾经用ITO做过碱液里的反应，感觉短时间内还撑得住
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2楼2013-08-02 12:15:47
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 谢谢您的指导 2013-08-02 15:03:47
37364925: 金币+5, ★★★很有帮助, 请问下什么事BOE？ 2013-08-02 15:21:08
ITO需要王水或者草酸才能腐蚀。
你这个用氢氟酸好了。配成BOE，注意玻璃的腐蚀。如果对玻璃腐蚀严重，可以用NaOH，但是去除的速率会比较慢。
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3楼2013-08-02 13:58:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-02 13:58:18
ITO需要王水或者草酸才能腐蚀。
你这个用氢氟酸好了。配成BOE，注意玻璃的腐蚀。如果对玻璃腐蚀严重，可以用NaOH，但是去除的速率会比较慢。

Buffered Oxide Etchging
查以下google
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4楼2013-08-02 18:56:33
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chouniuccq

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
37364925: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢，我现在学校读书，课题目前是做这个的 2013-08-05 18:46:21
BOE蚀刻液  算好浓度和用量  你是哪家单位啊
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5楼2013-08-05 13:16:54
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macroH

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
37364925: 金币+5, ★★★很有帮助, 这个没接触过，什么样子是干刻？ 2013-08-05 18:46:52
RIE, 干刻。湿法用酸都会伤玻璃
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6楼2013-08-05 14:42:04
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37364925

木虫 (正式写手)
试过了1M氢氧化钠，50度，24小时，没有除干净。试过了5%HF，泡了2个小时，又侵蚀过了，不仅把二氧化硅泡下来了，把ITO玻璃也泡了，一点也不导电了。。。
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7楼2013-08-05 18:51:56
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37364925

木虫 (正式写手)
那是不是说氢氧化钠和HF其实都是可行的，只是我还没有控制好浓度、时间和温度？
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8楼2013-08-05 18:55:28
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macroH

银虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by macroH at 2013-08-05 14:42:04
RIE, 干刻。湿法用酸都会伤玻璃

就是采用特定的化学气体组合来反应刻蚀。
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9楼2013-08-06 14:52:08
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kebaokeji

新虫 (初入文坛)
自已搞污染太严重，气味太大，产生黄烟二氧化氮（酸分解产生的）易中毒，而且强酸对设备腐蚀损耗也很大。其实商用的环保型ITO蚀刻液市场上早就有了，没必要冒险用高腐蚀性且易产生有毒气体的原料。我们就是用深圳一家司KBX-618环保ITO型蚀刻液，无气味，低酸，速度稳定，原料消耗也很少，才几百公斤搞定。
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杨生
10楼2016-01-08 19:23:22
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