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37364925

木虫 (正式写手)

[求助] 怎么除去ITO玻璃上的纳米二氧化硅?

实验的前期是在ITO玻璃上用纳米二氧化硅堆积做了个模板,二氧化硅是纳米级的,买的sigma的成品,粒径大概15纳米左右,现在想直接在ITO玻璃上直接除去二氧化硅又尽可能不对ITO玻璃造成损伤,有没有什么办法?纳米级的二氧化硅比导电玻璃活性更高,会更容易溶于氢氟酸或氢氧化钠吗?
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
kunpeng1782: 谢谢 2013-08-02 15:03:38
37364925: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢支招 2013-08-02 15:20:34
不知道NaOH会不会管用,浓度不要太高的话,曾经用ITO做过碱液里的反应,感觉短时间内还撑得住
2楼2013-08-02 12:15:47
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
kunpeng1782: 谢谢您的指导 2013-08-02 15:03:47
37364925: 金币+5, ★★★很有帮助, 请问下什么事BOE? 2013-08-02 15:21:08
ITO需要王水或者草酸才能腐蚀。
你这个用氢氟酸好了。配成BOE,注意玻璃的腐蚀。如果对玻璃腐蚀严重,可以用NaOH,但是去除的速率会比较慢。
3楼2013-08-02 13:58:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-02 13:58:18
ITO需要王水或者草酸才能腐蚀。
你这个用氢氟酸好了。配成BOE,注意玻璃的腐蚀。如果对玻璃腐蚀严重,可以用NaOH,但是去除的速率会比较慢。

Buffered Oxide Etchging
查以下google
4楼2013-08-02 18:56:33
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chouniuccq

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
37364925: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢,我现在学校读书,课题目前是做这个的 2013-08-05 18:46:21
BOE蚀刻液  算好浓度和用量  你是哪家单位啊
5楼2013-08-05 13:16:54
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macroH

银虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
37364925: 金币+5, ★★★很有帮助, 这个没接触过,什么样子是干刻? 2013-08-05 18:46:52
RIE, 干刻。湿法用酸都会伤玻璃
6楼2013-08-05 14:42:04
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37364925

木虫 (正式写手)

试过了1M氢氧化钠,50度,24小时,没有除干净。试过了5%HF,泡了2个小时,又侵蚀过了,不仅把二氧化硅泡下来了,把ITO玻璃也泡了,一点也不导电了。。。
7楼2013-08-05 18:51:56
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37364925

木虫 (正式写手)

那是不是说氢氧化钠和HF其实都是可行的,只是我还没有控制好浓度、时间和温度?
8楼2013-08-05 18:55:28
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macroH

银虫 (正式写手)


引用回帖:
6楼: Originally posted by macroH at 2013-08-05 14:42:04
RIE, 干刻。湿法用酸都会伤玻璃

就是采用特定的化学气体组合来反应刻蚀。
9楼2013-08-06 14:52:08
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kebaokeji

新虫 (初入文坛)

自已搞污染太严重,气味太大,产生黄烟二氧化氮(酸分解产生的)易中毒,而且强酸对设备腐蚀损耗也很大。其实商用的环保型ITO蚀刻液市场上早就有了,没必要冒险用高腐蚀性且易产生有毒气体的原料。我们就是用深圳一家司KBX-618环保ITO型蚀刻液,无气味,低酸,速度稳定,原料消耗也很少,才几百公斤搞定。
杨生
10楼2016-01-08 19:23:22
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