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怎么除去ITO玻璃上的纳米二氧化硅?
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怎么除去ITO玻璃上的纳米二氧化硅?
实验的前期是在ITO玻璃上用纳米二氧化硅堆积做了个模板,二氧化硅是纳米级的,买的sigma的成品,粒径大概15纳米左右,现在想直接在ITO玻璃上直接除去二氧化硅又尽可能不对ITO玻璃造成损伤,有没有什么办法?纳米级的二氧化硅比导电玻璃活性更高,会更容易溶于氢氟酸或氢氧化钠吗?
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1楼
2013-08-02 11:09:07
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gxytju2008
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kunpeng1782: 谢谢
2013-08-02 15:03:38
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很有帮助, 谢谢支招
2013-08-02 15:20:34
不知道NaOH会不会管用,浓度不要太高的话,曾经用ITO做过碱液里的反应,感觉短时间内还撑得住
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2楼
2013-08-02 12:15:47
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kunpeng1782: 谢谢您的指导
2013-08-02 15:03:47
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很有帮助, 请问下什么事BOE?
2013-08-02 15:21:08
ITO需要王水或者草酸才能腐蚀。
你这个用氢氟酸好了。配成BOE,注意玻璃的腐蚀。如果对玻璃腐蚀严重,可以用NaOH,但是去除的速率会比较慢。
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2013-08-02 13:58:18
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3楼
:
Originally posted by
yswyx
at 2013-08-02 13:58:18
ITO需要王水或者草酸才能腐蚀。
你这个用氢氟酸好了。配成BOE,注意玻璃的腐蚀。如果对玻璃腐蚀严重,可以用NaOH,但是去除的速率会比较慢。
Buffered Oxide Etchging
查以下google
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2013-08-02 18:56:33
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chouniuccq
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很有帮助, 谢谢,我现在学校读书,课题目前是做这个的
2013-08-05 18:46:21
BOE蚀刻液 算好浓度和用量 你是哪家单位啊
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5楼
2013-08-05 13:16:54
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很有帮助, 这个没接触过,什么样子是干刻?
2013-08-05 18:46:52
RIE, 干刻。湿法用酸都会伤玻璃
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6楼
2013-08-05 14:42:04
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试过了1M氢氧化钠,50度,24小时,没有除干净。试过了5%HF,泡了2个小时,又侵蚀过了,不仅把二氧化硅泡下来了,把ITO玻璃也泡了,一点也不导电了。。。
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7楼
2013-08-05 18:51:56
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那是不是说氢氧化钠和HF其实都是可行的,只是我还没有控制好浓度、时间和温度?
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8楼
2013-08-05 18:55:28
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6楼
:
Originally posted by
macroH
at 2013-08-05 14:42:04
RIE, 干刻。湿法用酸都会伤玻璃
就是采用特定的化学气体组合来反应刻蚀。
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9楼
2013-08-06 14:52:08
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自已搞污染太严重,气味太大,产生黄烟二氧化氮(酸分解产生的)易中毒,而且强酸对设备腐蚀损耗也很大。其实商用的环保型ITO蚀刻液市场上早就有了,没必要冒险用高腐蚀性且易产生有毒气体的原料。我们就是用深圳一家司KBX-618环保ITO型蚀刻液,无气味,低酸,速度稳定,原料消耗也很少,才几百公斤搞定。
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杨生
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2016-01-08 19:23:22
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