24小时热门版块排行榜    

查看: 1284  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 寻求出售成品ITO玻璃刻蚀液的卖家,另自己做ITO刻蚀出现问题,求指点 已有2人参与

我在做ITO玻璃的刻蚀,图形最小尺寸达到20um。所以我用的光刻胶是正胶PR1-1000,刻蚀液我用的硝酸和盐酸配的,HCl:H2O:HNO3=50:50:3,但是我刻蚀的时候不管ITO玻璃上曝光没曝光的地方,一律都被我配的刻蚀液刻蚀掉了。。。。我现在分析有3个问题,一个是正胶PR1-1000过期导致不能挡住刻蚀液的刻蚀,但是我师兄说没事,只要光刻胶不被光照过,过期一点点可以正常使用;第二就是刻蚀液配的不对,虽然我是根据国外的一个专利来弄的,所以我想直接买成品的,毕竟ITO玻璃的刻蚀工艺已经很成熟了,我不想花时间自己去探索工艺了,这部分工作也没法出彩,出论文。ps: 我还怀疑我是不是要换一种光刻胶了? 我是个新手,求懂这方面的指点下。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-25 17:01:37
我们一般都用草酸做ITO腐蚀,买的也是成品的腐蚀液。
你的光刻胶估计扛不住强酸,一般光刻胶都扛不住,建议换腐蚀液。也可以换别的胶试试。

我先头也想过配草酸系列的刻蚀液,但是其中有一种成分,(草酸:三氟甲基苯磺酸:水=5:1:94 )中的三氟甲基苯磺酸我找不到卖家。你方便告诉我你们用的正胶和刻蚀液的型号和卖家公司吗? 我用的正胶是Futurrex的PR1-1000A。
另外,想问下光刻胶过期真的对使用没多大影响吗。。。?保质期是常温下1年,我们这个是在冰箱里放了3年了。。。
3楼2015-03-27 10:19:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
baopkbao: 金币+10, ★★★很有帮助, 感谢回帖,希望能提供卖家公司和试剂的型号 2015-03-27 10:22:18
我们一般都用草酸做ITO腐蚀,买的也是成品的腐蚀液。
你的光刻胶估计扛不住强酸,一般光刻胶都扛不住,建议换腐蚀液。也可以换别的胶试试。
2楼2015-03-25 17:01:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杜xiao若

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by baopkbao at 2015-03-27 10:19:16
我先头也想过配草酸系列的刻蚀液,但是其中有一种成分,(草酸:三氟甲基苯磺酸:水=5:1:94 )中的三氟甲基苯磺酸我找不到卖家。你方便告诉我你们用的正胶和刻蚀液的型号和卖家公司吗? 我用的正胶是Futurrex的PR1 ...

你好,我也在做ITO的刻蚀,请问你的问题解决了么?能不能告诉我刻蚀的有效方法
4楼2015-12-28 15:38:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2015-12-28 20:47:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 311求调剂 +6 26研0 2026-03-15 6/300 2026-03-18 14:43 by haxia
[考研] 收复试调剂生 +4 雨后秋荷 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:16 by elevennnne
[考研] 0854,计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 301求调剂 +9 yy要上岸呀 2026-03-17 9/450 2026-03-18 08:58 by 无际的草原
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +16 不知道叫什么! 2026-03-15 18/900 2026-03-17 17:05 by ruiyingmiao
[考研] 085600材料与化工求调剂 +5 绪幸与子 2026-03-17 5/250 2026-03-17 16:40 by laoshidan
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[考研] 11408 一志愿西电,277分求调剂 +3 zhouzhen654 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:03 by laoshidan
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 294求调剂 +3 Zys010410@ 2026-03-13 4/200 2026-03-15 10:59 by zhq0425
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-03-13 4/200 2026-03-14 08:37 by zhukairuo
[考研] 招收0805(材料)调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 0856材料与化工301求调剂 +5 奕束光 2026-03-13 5/250 2026-03-13 22:00 by 星空星月
[考研] 0703化学求调剂 +7 绿豆芹菜汤 2026-03-12 7/350 2026-03-13 17:25 by njzyff
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
信息提示
请填处理意见