24小时热门版块排行榜    

查看: 1476  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 寻求出售成品ITO玻璃刻蚀液的卖家,另自己做ITO刻蚀出现问题,求指点 已有2人参与

我在做ITO玻璃的刻蚀,图形最小尺寸达到20um。所以我用的光刻胶是正胶PR1-1000,刻蚀液我用的硝酸和盐酸配的,HCl:H2O:HNO3=50:50:3,但是我刻蚀的时候不管ITO玻璃上曝光没曝光的地方,一律都被我配的刻蚀液刻蚀掉了。。。。我现在分析有3个问题,一个是正胶PR1-1000过期导致不能挡住刻蚀液的刻蚀,但是我师兄说没事,只要光刻胶不被光照过,过期一点点可以正常使用;第二就是刻蚀液配的不对,虽然我是根据国外的一个专利来弄的,所以我想直接买成品的,毕竟ITO玻璃的刻蚀工艺已经很成熟了,我不想花时间自己去探索工艺了,这部分工作也没法出彩,出论文。ps: 我还怀疑我是不是要换一种光刻胶了? 我是个新手,求懂这方面的指点下。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杜xiao若

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by baopkbao at 2015-03-27 10:19:16
我先头也想过配草酸系列的刻蚀液,但是其中有一种成分,(草酸:三氟甲基苯磺酸:水=5:1:94 )中的三氟甲基苯磺酸我找不到卖家。你方便告诉我你们用的正胶和刻蚀液的型号和卖家公司吗? 我用的正胶是Futurrex的PR1 ...

你好,我也在做ITO的刻蚀,请问你的问题解决了么?能不能告诉我刻蚀的有效方法
4楼2015-12-28 15:38:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
baopkbao: 金币+10, ★★★很有帮助, 感谢回帖,希望能提供卖家公司和试剂的型号 2015-03-27 10:22:18
我们一般都用草酸做ITO腐蚀,买的也是成品的腐蚀液。
你的光刻胶估计扛不住强酸,一般光刻胶都扛不住,建议换腐蚀液。也可以换别的胶试试。
2楼2015-03-25 17:01:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-25 17:01:37
我们一般都用草酸做ITO腐蚀,买的也是成品的腐蚀液。
你的光刻胶估计扛不住强酸,一般光刻胶都扛不住,建议换腐蚀液。也可以换别的胶试试。

我先头也想过配草酸系列的刻蚀液,但是其中有一种成分,(草酸:三氟甲基苯磺酸:水=5:1:94 )中的三氟甲基苯磺酸我找不到卖家。你方便告诉我你们用的正胶和刻蚀液的型号和卖家公司吗? 我用的正胶是Futurrex的PR1-1000A。
另外,想问下光刻胶过期真的对使用没多大影响吗。。。?保质期是常温下1年,我们这个是在冰箱里放了3年了。。。
3楼2015-03-27 10:19:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2015-12-28 20:47:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 17/850 2026-08-24 10:20 by echo8914667
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +9 koalala 2026-08-24 9/450 2026-08-24 09:36 by Vivilian
[基金申请] 什么时候开奖? +10 CrisMessi 2026-08-18 11/550 2026-08-24 06:50 by 开心的小狮子
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +5 炎黄贵胄 2026-08-22 6/300 2026-08-24 06:34 by sincosx
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +11 kulium 2026-08-21 14/700 2026-08-24 02:12 by 流流伤
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +16 羊腰板 2026-08-21 17/850 2026-08-23 23:02 by tianxiaochun
[基金申请] 今天放榜吗? +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
请填处理意见