应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底
121/2返回列表12下一页
查看: 3135  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

卤石

新虫 (初入文坛)

[求助] NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底 已有7人参与

我使用的是NR26-2500P负胶，匀胶：转速3000rmp，40s；胶厚大约21-27um；前烘：均匀升温150度，保温7分钟，然后均匀冷却至室温；曝光时间：200s；后烘：均匀加热至90度，保温5分钟，然后均匀冷却至室温；显影：7-10分钟；图案是3um光栅，光栅间距5um，显影未完成图案就有脱落，光栅尺寸10um以上，边角有毛刺；请教对NR26-2500P负胶有经验的人解答相关参数？

NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底
1-150s-1.jpg


NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底-1
gs-100s-2 - 副本.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-03-11 10:49:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个是不是说明粘附性不好，你先检查下晶片上有没有杂质颗粒什么的，然后你试试后烘温度加大一点，还有你后烘后到冷却到室温这个过程在哪里进行的，不行直接在环境下进行。
赞一下 回复此楼
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
2楼2015-03-11 10:57:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

卤石

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-03-11 10:57:47
这个是不是说明粘附性不好，你先检查下晶片上有没有杂质颗粒什么的，然后你试试后烘温度加大一点，还有你后烘后到冷却到室温这个过程在哪里进行的，不行直接在环境下进行。

我用的就是普通热板，在净化间光刻实验室里做的，后烘温度是根据胶的说明书来的，你用过这种胶吗？我在对这种胶的参数还把握不准，上面有一张光栅图，是显影过程中张开了，是一个缝隙，有的显影掉了，有的没有，然后内应力就把他张开了，我发现我现在显影不均匀，有的显了有的没显，是不是跟涂胶不均匀有关系
赞一下 回复此楼
3楼2015-03-11 14:58:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 卤石 at 2015-03-11 14:58:31
我用的就是普通热板，在净化间光刻实验室里做的，后烘温度是根据胶的说明书来的，你用过这种胶吗？我在对这种胶的参数还把握不准，上面有一张光栅图，是显影过程中张开了，是一个缝隙，有的显影掉了，有的没有，然 ...

说明书只能用来参考。    有可能胶涂的不均匀，显影掉的地方说明胶薄，没显影掉的地方说明胶厚。还有可能就是胶受到污染，你检查一下。 一般跟显影液没啥关系。
赞一下 回复此楼
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
4楼2015-03-11 16:06:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 卤石 at 2015-03-11 14:58:31
我用的就是普通热板，在净化间光刻实验室里做的，后烘温度是根据胶的说明书来的，你用过这种胶吗？我在对这种胶的参数还把握不准，上面有一张光栅图，是显影过程中张开了，是一个缝隙，有的显影掉了，有的没有，然 ...

不能问下厂家吗？
如果有脱落可能基片不干净，或是显影时间长了。
赞一下 回复此楼
5楼2015-03-11 20:24:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
看不明白你的图。
就问一句，厚胶边去了没有？
赞一下 回复此楼
6楼2015-03-13 16:14:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

卤石

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-13 16:14:44
看不明白你的图。
就问一句，厚胶边去了没有？

匀胶之后，没有去边，我现在的问题两个，一个是边角显影不干净，另一个是光栅尺寸3um时，显影不出来，能看到有些地方开始显影，但是有些边缘已经脱落，没有完整的光栅条纹。
赞一下 回复此楼
7楼2015-03-15 15:07:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lianglei0427

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

我没做过这种厚胶显影，但是这么厚的光刻胶旋凃之后肯定不平，建议匀胶之前用增粘处理，后烘后丙酮擦边，尝试加大曝光量，显影温度控制在20作用，希望对你有帮助(PS：光刻胶越厚，转移图形的精度越差)
赞一下 回复此楼
8楼2015-04-22 10:54:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zju2015

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

不知道楼主问题解决了没有，我前段时间也遇到了脱胶的问题，发现主要是粘附性的问题，但我们用的是N244，负性胶，做薄胶。
我们的解决办法是，匀胶前加了预烘200度/10min步骤，温度降到室温后涂了层増粘剂HMDS，之后涂胶，最后出来效果挺好的，最小线宽5um。
还有个问题是负胶可以做到3um吗？
赞一下 回复此楼
9楼2016-01-06 20:18:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
10楼2016-01-07 14:37:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 卤石 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +12 archvillain 2026-08-15 21/1050 2026-08-15 19:30 by pztchina
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +8 majunge000 2026-08-11 10/500 2026-08-15 18:55 by Equinoxhua
[基金申请] filecode +8 cratir 2026-08-14 12/600 2026-08-15 18:08 by zyfgau
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +12 Tide man 2026-08-10 13/650 2026-08-15 16:34 by 氺木
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +7 Ldrop2023 2026-08-13 7/350 2026-08-15 15:57 by mzhh2000
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 22/1100 2026-08-14 23:45 by Noways
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[硕博家园] 请教兼职经验 +3 是阿文鸭 2026-08-09 3/150 2026-08-14 12:07 by HER12025
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] FileCode能看出啥？ +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭