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NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底已有7人参与
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我使用的是NR26-2500P负胶，匀胶：转速3000rmp，40s；胶厚大约21-27um；前烘：均匀升温150度，保温7分钟，然后均匀冷却至室温；曝光时间：200s；后烘：均匀加热至90度，保温5分钟，然后均匀冷却至室温；显影：7-10分钟；图案是3um光栅，光栅间距5um，显影未完成图案就有脱落，光栅尺寸10um以上，边角有毛刺；请教对NR26-2500P负胶有经验的人解答相关参数？ 1-150s-1.jpg  gs-100s-2 - 副本.jpg |
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yswyx 
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6楼2015-03-13 16:14:44