应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底
51/1返回列表
查看: 3129  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

卤石

新虫 (初入文坛)

[求助] NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底 已有7人参与

我使用的是NR26-2500P负胶，匀胶：转速3000rmp，40s；胶厚大约21-27um；前烘：均匀升温150度，保温7分钟，然后均匀冷却至室温；曝光时间：200s；后烘：均匀加热至90度，保温5分钟，然后均匀冷却至室温；显影：7-10分钟；图案是3um光栅，光栅间距5um，显影未完成图案就有脱落，光栅尺寸10um以上，边角有毛刺；请教对NR26-2500P负胶有经验的人解答相关参数？

NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底
1-150s-1.jpg


NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底-1
gs-100s-2 - 副本.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-03-11 10:49:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lianglei0427

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

我没做过这种厚胶显影，但是这么厚的光刻胶旋凃之后肯定不平，建议匀胶之前用增粘处理，后烘后丙酮擦边，尝试加大曝光量，显影温度控制在20作用，希望对你有帮助(PS：光刻胶越厚，转移图形的精度越差)
赞一下 回复此楼
8楼2015-04-22 10:54:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个是不是说明粘附性不好，你先检查下晶片上有没有杂质颗粒什么的，然后你试试后烘温度加大一点，还有你后烘后到冷却到室温这个过程在哪里进行的，不行直接在环境下进行。
赞一下 回复此楼
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
2楼2015-03-11 10:57:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

卤石

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-03-11 10:57:47
这个是不是说明粘附性不好，你先检查下晶片上有没有杂质颗粒什么的，然后你试试后烘温度加大一点，还有你后烘后到冷却到室温这个过程在哪里进行的，不行直接在环境下进行。

我用的就是普通热板，在净化间光刻实验室里做的，后烘温度是根据胶的说明书来的，你用过这种胶吗？我在对这种胶的参数还把握不准，上面有一张光栅图，是显影过程中张开了，是一个缝隙，有的显影掉了，有的没有，然后内应力就把他张开了，我发现我现在显影不均匀，有的显了有的没显，是不是跟涂胶不均匀有关系
赞一下 回复此楼
3楼2015-03-11 14:58:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 卤石 at 2015-03-11 14:58:31
我用的就是普通热板，在净化间光刻实验室里做的，后烘温度是根据胶的说明书来的，你用过这种胶吗？我在对这种胶的参数还把握不准，上面有一张光栅图，是显影过程中张开了，是一个缝隙，有的显影掉了，有的没有，然 ...

说明书只能用来参考。    有可能胶涂的不均匀，显影掉的地方说明胶薄，没显影掉的地方说明胶厚。还有可能就是胶受到污染，你检查一下。 一般跟显影液没啥关系。
赞一下 回复此楼
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
4楼2015-03-11 16:06:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 7lpolszZVXgi 2026-08-14 9/450 2026-08-15 17:46 by 7huP8NPKZCp9
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 17:42 by 7huP8NPKZCp9
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +27 医学老男孩 2026-08-13 58/2900 2026-08-15 15:57 by GZUZM
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 P4JhWrbJGjSe 2026-08-14 5/250 2026-08-15 15:46 by QXtWNz7PI7wZ
[论文投稿] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 15:10 by QXtWNz7PI7wZ
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 14:58 by QXtWNz7PI7wZ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 HFw0lei2R37i 2026-08-14 8/400 2026-08-15 14:41 by QXtWNz7PI7wZ
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +7 majunge000 2026-08-11 9/450 2026-08-15 13:34 by kiz2011
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 07:09 by 4wMiSEwB6436
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 7lpolszZVXgi 2026-08-14 5/250 2026-08-15 04:41 by 4wMiSEwB6436
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 00:16 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 22/1100 2026-08-14 23:45 by Noways
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭