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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
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虫号: 5096407
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专业: 环境微生物学

【答案】应助回帖

毫无疑问你这是应力太大导致的大面积脱落。如果说说明书150um 7min 那么你升温过程所传递的热量怎么算。所以尽信书不如无书，调整一下工艺温度时间，还有边缘毛刺，这根你曝光系统有关系，最好是铬板掩膜接触式曝光。曝光时间算好。还有显影多用几次新显影液。应该没有多大问题

业精于勤

11楼2017-03-23 15:34:04

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温馨妹

新虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 735.7
散金: 14
红花: 2
帖子: 207
在线: 23.7小时
虫号: 6111441
注册: 2017-03-23
性别: MM
专业: 半导体光电子器件

前烘温度会不会太高啦

发自小木虫IOS客户端

12楼2017-03-23 15:45:41

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