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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » NR26-25000P负胶光刻显影不彻底，大深宽比显影后脱落基底
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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

毫无疑问 你这是应力太大导致的大面积脱落。  如果说 说明书150um 7min  那么你升温过程 所传递的热量怎么算。 所以 尽信书不如无书，  调整一下工艺温度时间，还有 边缘毛刺 ，这根你曝光系统有关系， 最好是铬板掩膜 接触式曝光。  曝光时间算好。还有显影多用几次新显影液 。应该没有多大问题
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业精于勤
11楼2017-03-23 15:34:04
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温馨妹

新虫 (小有名气)
前烘温度会不会太高啦

发自小木虫IOS客户端
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12楼2017-03-23 15:45:41
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