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溅射Ag 发黄, 溅射Mo成暗黑色????
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大神们,现有两个问题亟待解决,还请大家能够指教啊! 1.BK7基地上金属直流溅射镀银,为什么镀出来的银不再白亮,而呈黄色?(之前很容易镀得白色镜面的样品)。 靶材辉光呈蓝色,与以前相同。会不会是腔体漏了? 2.另外镀Mo的时候为什么溅射镀出来的颜色呈暗灰色与靶材的灰白色不一样,是否是因为膜厚的原因,请大神们指教啊!! 3.在Ag上镀一层10nm左右的Mo(情况一切正常),为什么样品整体会发黄? |
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