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直上云霄8

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求助!薄膜与衬底分离技术

求助有经验的大侠,我用的是热蒸发法在玻璃或硅片上蒸镀合金薄膜,想将薄膜大块的剥离下来,有没有什么好的方法啊?
先谢谢大家了
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浅蓝色背影

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
直上云霄8: 金币+1, 可能行不通 2014-12-23 12:04:34
看你的衬底有多厚了!!要是很薄几个毫米的话 可以进行腐蚀处理呀!不知道行不行
坚持就是胜利
2楼2014-12-22 17:28:30
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南京的李工

禁言 (文坛精英)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
直上云霄8: 金币+1, 已经试过,不理想 2014-12-23 12:05:02
玻璃或硅片上蒸镀合金薄膜,不太好搞(用热水多泡下,或加点洗衣粉),下次在塑料板上,而且最好表面涂油些或水。
3楼2014-12-22 21:29:53
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直上云霄8

铁虫 (初入文坛)

我的薄膜是几百个纳米厚,而且蒸发时衬底温度会达到一百摄氏度,涂油会蒸发掉吧;
我也用热水泡了,但是下来的是小碎块。
4楼2014-12-23 11:58:13
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lion_zb

新虫 (初入文坛)

可以玻璃上先镀一层Al,然后再镀合金薄膜,之后将Al腐蚀掉

发自小木虫IOS客户端
5楼2018-01-08 19:32:37
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