| 查看: 2336 | 回复: 14 | |||
[交流]
TCO衬底上金属氧化物薄膜方阻测试如何避免衬底影响
|
|||
|
用RTS-8型四探针仪测试氧化物薄膜方阻，这里面几项要点有： （1）通常TCO衬底都是简并半导体，所以跟样品薄膜之间应该是ohmic contact，所以不存在成结的条件，需要选用“薄膜方阻”技术； （2）因为纳米晶膜厚大概也就只有几百nm，当样品尺寸很大时，修正系数基本接近4.5324，无需进行额外的厚度和边缘修正； 然而LZ搞不清楚的是在这些条件下进行测试，电力线会不会穿透样品薄层进入TCO层，这样一来测得的数据就不单单是样品薄膜的方阻了。尽管有两种假设，即选取小电流或者将样品做厚，但似乎也排除不了电流进入TCO层的可能。另外，在“薄膜方阻”技术中有一个“膜厚”选项，给出这个选项的意义到底是什么？难道说测试的时候选取膜厚量级在100nm时，仪器会智能到自动选取一个适当大小的电流并只穿透100nm的有效厚度从而排除导电衬底的影响？盼望大牛解惑！ |
回复此楼» 猜你喜欢
2026年WR青拔进展
已经有7人回复
-
职称论文投稿
已经有11人回复
-
中！中！中！
已经有10人回复
-
会评什么时候开始？
已经有4人回复
-
国自然申请五篇代表作大比拼，感觉这个是最重要的
已经有12人回复
-
无聊看看时间戳打发时间
已经有4人回复
-
咨询
已经有3人回复
-
基于自然哲学类比的风化壳型稀土矿
已经有14人回复
-
评委有多少概率知道其他专家手中有哪些人的本子？
已经有6人回复
-
求推荐期刊，重谢
已经有3人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- Al膜方阻测量。
已经有10人回复
- 求教：不锈钢衬底上的薄膜厚度用什么方法或仪器可以测量
已经有10人回复
- 求推荐四探针测试仪设备，测薄膜方阻、电阻率
已经有9人回复
- 二氧化钒热致变色薄膜衬底问题
已经有9人回复
- 测试无机氧化物半导体电阻-温度曲线用什么测试装置？
已经有7人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
山东征女友，坐标济南
+1/152
-
澳大利亚蒙纳士大学招聘低碳冶金建模方向博士生（可提供全奖）
+1/80
-
温州医科大学李校堃院士团队宋林涛/黄志锋课题组诚聘博士后
+1/74
-
求教甲基丙烯酸类化合物做GC分析的问题
+3/46
-
深职大霍夫曼研究院吸附分离课题组诚聘博士后
+1/30
-
哈工大深圳-材料学院-招收申请审核制2027年春季/秋季入学博士生（2026年9月报名）
+1/28
-
上海985专排第一的软工学院课题组接收AI生物计算方向的推免保研硕士
+1/27
-
同济大学环境学院 肖倩研究员课题组 招聘2027级硕士/博士
+1/23
-
计算机科技核心
+1/22
-
国际普刊/正规ISSN/DOI/一周见刊
+1/8
-
墨尔本大学(26年QS19)招全奖博士/CSC博士(补齐全奖)等-材料/生物电子/器官芯片等
+1/7
-
北理工集成电路杰青团队 | 诚招科助理
+1/6
-
密苏里大学生物材料合成生物学博士后招聘
+1/5
-
密苏里大学生物材料合成生物学博士后招聘
+1/5
-
北理工集成电路杰青团队 | 诚招科助理
+1/5
-
有需要发文章加分的吗？
+1/5
-
密苏里大学生物材料合成生物学博士后招聘
+1/4
-
从分子模拟到科学大模型：加入深圳理工大学新一代AI4Science团队
+1/3
-
北理工集成电路杰青团队 | 诚招科助理
+1/2
-
北京理工大学-集成电路与电子学院杰青团队-招博士后
+1/1
3楼2013-03-28 14:37:00
4楼2013-03-28 22:25:10
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流，回答很详细，非常感谢 2013-03-29 07:56:48
lymmaotou: 金币+1 2013-04-01 13:39:40
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流，回答很详细，非常感谢 2013-03-29 07:56:48
lymmaotou: 金币+1 2013-04-01 13:39:40
|
我的个人看法： （1） 用4探针法时，电极是否是欧姆接触对测量结果影响不是很大，而且通常设备上电极都加了一定压力到薄膜上，很容易实现良好接触。 （2）方组是不考虑厚度的；当你想把方阻换算成电阻率时，修正系数4.53是pai/In2，厚度是另外一个参数；至于你想更精确的计算结果，你可以做一些厚度或边缘修正，将厚度和探针间距等因素考虑进去，但结果差别不是很大。 （3）当你薄膜电阻率远远高于你TCO衬底电阻率的时候，你测的结果肯定不是你薄膜的方阻。要小心哦 |
5楼2013-03-29 05:19:08
6楼2013-03-29 10:33:15
7楼2013-03-29 12:04:26
8楼2013-03-29 12:53:14
9楼2013-03-29 14:20:59
10楼2013-03-29 15:57:21
11楼2013-03-29 16:56:09
12楼2013-03-29 17:26:52
你先去了解一下测试的原理吧 13楼2013-03-30 01:23:56
14楼2013-03-30 13:17:50
15楼2013-03-30 17:34:40
简单回复
fyz72322楼
2013-03-28 03:50
回复
zhaohaixing: 禁止纯灌水现象~~ 2013-03-28 08:43:58
