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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PLD制备薄膜
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sky-blue

木虫 (正式写手)

[交流] PLD制备薄膜 已有2人参与

想做个多氧化物的薄膜.。请问物理沉积中哪种方法可以精确控制化学计量比呢。磁控溅射，PLD？各有哪些优缺点，哪种方法最好。
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Uknow,andyouwillneverknow...
1楼 2014-05-14 14:58:38
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士
帮顶，blessing, blessing, blessing ! ~~~
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7楼2014-05-14 15:53:09
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妮妮甑

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
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sky-blue: 金币+3 2014-05-15 02:22:55
PLD或LMBE吧，都控制的很准确。。。

[ 发自小木虫客户端 ]
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千里之行 始于足下
8楼2014-05-14 21:42:32
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MQWYY3

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人绝得PLD应该合适吧
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愿得一人心 白首不相离
9楼2014-05-15 08:10:26
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bryano

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
sky-blue: 金币+3 2014-05-16 10:21:49
各种沉积设备都有自身有点。从薄膜质量考虑的话PLD和MBE要好点。
关键要考虑几个问题：靶材有无易挥发性元素、结晶质量、溅射条件。
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11楼2014-05-15 12:35:37
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普通回帖

syhorchid
★
sky-blue(金币+1): 谢谢参与
2楼2014-05-14 15:08:45
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ms宝宝
★
sky-blue(金币+1): 谢谢参与
3楼2014-05-14 15:29:51
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kiss20085537
★
sky-blue(金币+1): 谢谢参与
7
4楼2014-05-14 15:30:41
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snowbridge
★
sky-blue(金币+1): 谢谢参与
5楼2014-05-14 15:32:39
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xiejf
1
6楼2014-05-14 15:46:12
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laserchen

新虫 (初入文坛)
★
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穿越千年: 鼓励交流 2014-05-15 11:13:34
PLD 与溅射比较起来，PLD更容易控制化学剂量比，这是PLD最重要优点之一。当然，对于含Pb及Bi等挥发性的材料，PLD所制备的薄膜依然有挥发元素缺乏的问题，只有靠提高靶中挥发元素的含量及其它制备工艺来优化。
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10楼2014-05-15 10:31:53
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