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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PLD制备薄膜
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sky-blue

木虫 (正式写手)

[交流] PLD制备薄膜已有2人参与

想做个多氧化物的薄膜.。请问物理沉积中哪种方法可以精确控制化学计量比呢。磁控溅射，PLD？各有哪些优缺点，哪种方法最好。
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Uknow,andyouwillneverknow...
1楼2014-05-14 14:58:38
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laserchen

新虫 (初入文坛)
★
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穿越千年: 鼓励交流 2014-05-15 11:13:34
PLD 与溅射比较起来，PLD更容易控制化学剂量比，这是PLD最重要优点之一。当然，对于含Pb及Bi等挥发性的材料，PLD所制备的薄膜依然有挥发元素缺乏的问题，只有靠提高靶中挥发元素的含量及其它制备工艺来优化。
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10楼2014-05-15 10:31:53
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userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士
帮顶，blessing, blessing, blessing ! ~~~
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7楼2014-05-14 15:53:09
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妮妮甑

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
sky-blue: 金币+3 2014-05-15 02:22:55
PLD或LMBE吧，都控制的很准确。。。

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千里之行 始于足下
8楼2014-05-14 21:42:32
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MQWYY3

银虫 (初入文坛)
★
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个人绝得PLD应该合适吧
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愿得一人心 白首不相离
9楼2014-05-15 08:10:26
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