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sky-blue

木虫 (正式写手)

[交流] PLD制备薄膜已有2人参与

想做个多氧化物的薄膜.。请问物理沉积中哪种方法可以精确控制化学计量比呢。磁控溅射,PLD?各有哪些优缺点,哪种方法最好。
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妮妮甑

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
sky-blue: 金币+3 2014-05-15 02:22:55
PLD或LMBE吧,都控制的很准确。。。

[ 发自小木虫客户端 ]
千里之行 始于足下
8楼2014-05-14 21:42:32
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