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ljjwmsj

木虫 (正式写手)

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[求助] 多晶硅表面处理 已有2人参与

对于已经制绒的多晶硅在空气中长期放置后,要除去表面的氧化层,使用HF酸呢还是其他试剂?处理的条件是什么?
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hanpengcom

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


ljjwmsj: 金币+1, 有帮助 2014-03-20 16:54:14
5%HF,浸泡15min,基本可以洗干净了。
勇往直前,神行百变!
3楼2014-03-19 17:00:48
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一条大虫子

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
ljjwmsj: 金币+2, 有帮助 2014-03-18 11:34:10
这个确定是用HF洗的,表面的氧化层(SiO2)只能与HF反应!跟制绒差不多,不过这个氧化的硅片再洗后,硅片又会变薄的。
时间,空间~
2楼2014-03-18 10:10:20
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