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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » 新能源 » 多晶硅表面处理
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ljjwmsj

木虫 (正式写手)

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[求助] 多晶硅表面处理 已有2人参与

对于已经制绒的多晶硅在空气中长期放置后，要除去表面的氧化层，使用HF酸呢还是其他试剂？处理的条件是什么？
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在最短的时间内完成应该完成的工作！
1楼 2014-03-13 09:17:49
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一条大虫子

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
ljjwmsj: 金币+2, ★有帮助 2014-03-18 11:34:10
这个确定是用HF洗的，表面的氧化层（SiO2）只能与HF反应！跟制绒差不多，不过这个氧化的硅片再洗后，硅片又会变薄的。
赞一下 回复此楼
时间，空间~
2楼2014-03-18 10:10:20
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hanpengcom

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
ljjwmsj: 金币+1, ★有帮助 2014-03-20 16:54:14
5%HF，浸泡15min，基本可以洗干净了。
赞一下(1人) 回复此楼
勇往直前，神行百变！
3楼2014-03-19 17:00:48
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