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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 综合资源 » 求助溅射镀膜各个元素的溅射产额及相关文献
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酸菜鱼cute

铁虫 (小有名气)

[求助] 求助溅射镀膜各个元素的溅射产额及相关文献已有2人参与

最近在surface coatings上发了一篇文章，但是审稿人给出了一条意见，让我给出W和B的溅射产额，请教各位下，能不能给出相关数据及文献~谢谢啦
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像犀牛的触角一样只身前行
1楼2013-12-24 16:02:50
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酸菜鱼cute

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 橡胶人 at 2013-12-25 09:06:44
推荐一帖：http://muchong.com/html/200809/966783.html

谢谢你啊，这个我之前看过，但是只有图不够详细~
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像犀牛的触角一样只身前行
3楼2013-12-25 15:01:50
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
酸菜鱼cute: 金币+2, ★有帮助 2013-12-26 14:15:35
推荐一帖：http://muchong.com/html/200809/966783.html
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2楼2013-12-25 09:06:44
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csuchenli927

金虫 (小有名气)
溅射产额跟轰击靶材Ar+能量相关，可根据SRIM软件计算。
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4楼2013-12-26 09:39:24
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avad

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
酸菜鱼cute: 金币+3, ★有帮助 2013-12-26 14:16:09
唐伟忠 老师编著的《薄膜材料--制备原理、技术及应用》 61页提到W的溅射产额
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不如归去
5楼2013-12-26 10:27:57
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