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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 靶材溅射中出现的中毒 黑斑
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091820053

禁虫 (知名作家)
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磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

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1楼 2013-11-28 13:09:14
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weifeng_10

金虫 (小有名气)
★
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穿越千年: 鼓励交流 2013-11-29 15:29:05
可能是靶材受热不均匀吧，我以前也遇到过类似问题。
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止于至善
4楼2013-11-29 13:17:38
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
穿越千年: 鼓励交流 2013-11-29 15:28:56
靶材绑定不好，导致散热不均匀导致的现象。
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再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
2楼2013-11-28 15:01:41
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
3楼2013-11-28 16:59:09
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091820053

禁虫 (知名作家)
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5楼2013-12-02 11:45:19
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