版块导航: 正在加载中...

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3066)
>导师招生 (1254)
>虫友互识 (624)
>休闲灌水 (517)
>考博 (235)
>招聘信息布告栏 (88)
>论文投稿 (47)
>硕博家园 (46)
>教师之家 (23)
>考研 (17)
>公派出国 (13)
>学术会议 (10)
>文献求助 (10)
>博后之家 (3)
>科研资料 (3)
>找工作 (3)

返回列表

jzsunjia

金虫 (正式写手)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 2373.5
帖子: 389
在线: 134.7小时
虫号: 1992817

[交流] 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】

本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面，今天偶然对非抛光面看了看表面形貌（用的是金相显微镜），发现以下图片。
请指教：
1. 图片中的方形凸起是什么？非抛光面存在多晶Si吗？
2. 为什么会这样有序排列呢？
谢谢！

非抛光面的金相观察

[ 来自小组半导体器件 ]

回复此楼

» 猜你喜欢

关于核磁制样已经有3人回复
郑州大学申博已经有6人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

单晶硅片表面粗糙度一般是多少？已经有10人回复
单晶硅晶向为〈100〉的硅片表面抛光后为什么呈圆形？已经有14人回复

1楼 2013-11-11 12:13:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

tony1988lau

木虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 2970.6
帖子: 235
在线: 182小时
虫号: 1936470

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-11-11 16:40:34

我用单晶硅做沉积基底，未抛光面SEM也是这样的个人认为排列成这样是因为切割过程使然不知道楼主用未抛光面做什么要是做外延生长的话个人觉得未抛光面取向是不同的应该是多晶吧

赞一下

回复此楼

2楼2013-11-11 12:56:50

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

赞一下(1人)

回复此楼

3楼2013-11-11 13:03:59

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 2373.5
帖子: 389
在线: 134.7小时
虫号: 1992817

引用回帖:

3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

谢谢

回复此楼

5楼2013-11-11 20:59:41

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖