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jzsunjia

金虫 (正式写手)


[交流] 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】

本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面,今天偶然对非抛光面看了看表面形貌(用的是金相显微镜),发现以下图片。
请指教:
1. 图片中的方形凸起是什么?非抛光面存在多晶Si吗?
2. 为什么会这样有序排列呢?

谢谢!
单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
非抛光面的金相观察



[ 来自小组 半导体器件 ]
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tony1988lau

木虫 (小有名气)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-11-11 16:40:34
我用单晶硅做沉积基底,未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧
2楼2013-11-11 12:56:50
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的,因为硅片制造的时候,切片后要做一次腐蚀,然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么,因为有些片子背面是不处理的,有些要沉积多晶硅,有些要沉积氧化硅。
3楼2013-11-11 13:03:59
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jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的,因为硅片制造的时候,切片后要做一次腐蚀,然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么,因为有些片子背面是不处理的,有些要沉积多晶硅,有些要沉积氧化硅。

谢谢
5楼2013-11-11 20:59:41
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jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by tony1988lau at 2013-11-11 12:56:50
我用单晶硅做沉积基底,未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧

谢谢。能够交流下您的SEM未抛光图片。发至我的邮箱jiaozuosunjia@163.com
6楼2013-11-11 21:01:23
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xijh

铜虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的,因为硅片制造的时候,切片后要做一次腐蚀,然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么,因为有些片子背面是不处理的,有些要沉积多晶硅,有些要沉积氧化硅。

感觉不大可能是腐蚀造成的
因为单晶硅表面是一个方向
腐蚀应该一个速度才对
多晶才会腐蚀速率不同出现一颗颗的形貌

应该是表面有其他东西
比如有些硅片未抛光面有石蜡
7楼2013-11-12 09:12:34
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mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)


blessing
8楼2013-11-12 09:25:24
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jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
7楼: Originally posted by xijh at 2013-11-12 09:12:34
感觉不大可能是腐蚀造成的
因为单晶硅表面是一个方向
腐蚀应该一个速度才对
多晶才会腐蚀速率不同出现一颗颗的形貌

应该是表面有其他东西
比如有些硅片未抛光面有石蜡...

又长知识了,谢谢。
9楼2013-11-12 15:06:07
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简单回复
2013-11-11 13:07   回复  
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