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jzsunjia

金虫 (正式写手)

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[交流] 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】

本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面，今天偶然对非抛光面看了看表面形貌（用的是金相显微镜），发现以下图片。
请指教：
1. 图片中的方形凸起是什么？非抛光面存在多晶Si吗？
2. 为什么会这样有序排列呢？
谢谢！

非抛光面的金相观察

[ 来自小组半导体器件 ]

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1楼 2013-11-11 12:13:47

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xijh

铜虫 (初入文坛)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

感觉不大可能是腐蚀造成的
因为单晶硅表面是一个方向
腐蚀应该一个速度才对
多晶才会腐蚀速率不同出现一颗颗的形貌

应该是表面有其他东西
比如有些硅片未抛光面有石蜡