应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
91/1返回列表
查看: 2428  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

jzsunjia

金虫 (正式写手)

[交流] 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】

本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面，今天偶然对非抛光面看了看表面形貌（用的是金相显微镜），发现以下图片。
请指教：
1. 图片中的方形凸起是什么？非抛光面存在多晶Si吗？
2. 为什么会这样有序排列呢？
谢谢！
单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
非抛光面的金相观察



[ 来自小组 半导体器件 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-11-11 12:13:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tony1988lau

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-11-11 16:40:34
我用单晶硅做沉积基底，未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧
赞一下 回复此楼
2楼2013-11-11 12:56:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-11-11 13:03:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

谢谢
回复此楼
5楼2013-11-11 20:59:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by tony1988lau at 2013-11-11 12:56:50
我用单晶硅做沉积基底，未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧

谢谢。能够交流下您的SEM未抛光图片。发至我的邮箱jiaozuosunjia@163.com
赞一下 回复此楼
6楼2013-11-11 21:01:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xijh

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

感觉不大可能是腐蚀造成的
因为单晶硅表面是一个方向
腐蚀应该一个速度才对
多晶才会腐蚀速率不同出现一颗颗的形貌

应该是表面有其他东西
比如有些硅片未抛光面有石蜡
赞一下 回复此楼
7楼2013-11-12 09:12:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)
blessing
回复此楼
8楼2013-11-12 09:25:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by xijh at 2013-11-12 09:12:34
感觉不大可能是腐蚀造成的
因为单晶硅表面是一个方向
腐蚀应该一个速度才对
多晶才会腐蚀速率不同出现一颗颗的形貌

应该是表面有其他东西
比如有些硅片未抛光面有石蜡...

又长知识了，谢谢。
回复此楼
9楼2013-11-12 15:06:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
zhengkning4楼
2013-11-11 13:07   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 jzsunjia 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿华东理工085601材料工程303分求调剂 +15 a1708 2026-04-06 15/750 2026-04-08 16:23 by luoyongfeng
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +10 vants 2026-04-05 11/550 2026-04-08 16:02 by screening
[考研] 326分，一志愿沪9，求生物学调剂 +4 刘墨墨 2026-04-05 4/200 2026-04-08 06:22 by lijunpoly
[考研] 计算机408｜在校多次国家级竞赛获奖｜申请调剂 +4 东山大白鹅 2026-04-05 4/200 2026-04-08 00:18 by chongya
[考研] 求调剂 +5 小沢 2026-04-03 5/250 2026-04-06 22:45 by 875465
[考研] 一志愿C9的化学工程（085602） 340分，感觉校内调剂无望，求调剂 +12 万事宜臻 2026-04-04 12/600 2026-04-06 07:46 by 无际的草原
[考研] 348求调剂 +3 车厘子zzz 2026-04-05 3/150 2026-04-05 20:30 by 啵啵啵0119
[考研] 08专硕275调剂 +5 AaAa7420 2026-04-05 5/250 2026-04-05 18:01 by jkddd
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358求调剂 +6 cs0106 2026-04-05 6/300 2026-04-05 16:34 by imissbao
[考研] 调剂 +11 JLLLLLLLLLL 2026-04-03 11/550 2026-04-04 22:21 by hemengdong
[考研] 材料与化工306分找调剂 +23 沧海轻舟e 2026-04-02 27/1350 2026-04-04 21:52 by laoshidan
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358 +6 cs0106 2026-04-03 6/300 2026-04-04 11:20 by w_xuqing
[考研] 一志愿北京科技大学材料工程085601，求调剂 +17 cdyw 2026-04-02 18/900 2026-04-04 11:14 by w_xuqing
[考研] 400分求调剂 +3 尴尬且挠头 2026-04-04 3/150 2026-04-04 08:41 by jp9609
[考研] 调剂0855-288 +5 x熊二a 2026-04-03 5/250 2026-04-04 00:19 by 猪会飞
[考研] 考研求调剂 +3 木心想继续深造 2026-04-03 3/150 2026-04-03 21:56 by 啵啵啵0119
[考研] 生物学硕341求调剂 +4 你笑起来像云朵 2026-04-03 4/200 2026-04-03 10:32 by macy2011
[考研] 295求调剂 +7 愿旅途永远坦然 2026-04-02 7/350 2026-04-03 08:22 by fangshan711
[考研] 302求调剂 +9 zyx上岸！ 2026-04-02 9/450 2026-04-02 23:07 by 马儿快快地跑
[考研] 372分材料与化工（085600）一志愿湖南大学求调剂 +5 蓝笺片 2026-04-02 6/300 2026-04-02 21:37 by dongzh2009
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭