应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
91/1返回列表
查看: 2426  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

jzsunjia

金虫 (正式写手)

[交流] 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】

本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面，今天偶然对非抛光面看了看表面形貌（用的是金相显微镜），发现以下图片。
请指教：
1. 图片中的方形凸起是什么？非抛光面存在多晶Si吗？
2. 为什么会这样有序排列呢？
谢谢！
单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
非抛光面的金相观察



[ 来自小组 半导体器件 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-11-11 12:13:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tony1988lau

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-11-11 16:40:34
我用单晶硅做沉积基底，未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧
赞一下 回复此楼
2楼2013-11-11 12:56:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-11-11 13:03:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

谢谢
回复此楼
5楼2013-11-11 20:59:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by tony1988lau at 2013-11-11 12:56:50
我用单晶硅做沉积基底，未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧

谢谢。能够交流下您的SEM未抛光图片。发至我的邮箱jiaozuosunjia@163.com
赞一下 回复此楼
6楼2013-11-11 21:01:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xijh

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

感觉不大可能是腐蚀造成的
因为单晶硅表面是一个方向
腐蚀应该一个速度才对
多晶才会腐蚀速率不同出现一颗颗的形貌

应该是表面有其他东西
比如有些硅片未抛光面有石蜡
赞一下 回复此楼
7楼2013-11-12 09:12:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)
blessing
回复此楼
8楼2013-11-12 09:25:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by xijh at 2013-11-12 09:12:34
感觉不大可能是腐蚀造成的
因为单晶硅表面是一个方向
腐蚀应该一个速度才对
多晶才会腐蚀速率不同出现一颗颗的形貌

应该是表面有其他东西
比如有些硅片未抛光面有石蜡...

又长知识了，谢谢。
回复此楼
9楼2013-11-12 15:06:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
zhengkning4楼
2013-11-11 13:07   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 jzsunjia 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学求调剂 +16 不知名的小卅 2026-04-08 16/800 2026-04-08 21:53 by 旺旺豆包
[考研] 一志愿厦大生物学332求调剂 +5 池池池池池池 2026-04-08 5/250 2026-04-08 21:23 by zhyzzh
[考研] 材料工程322 +16 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 17/850 2026-04-08 16:35 by luoyongfeng
[考研] 304求调剂 +16 c297914 2026-04-05 17/850 2026-04-08 13:00 by grayjzr
[考研] 一志愿085404，总分291，四级已过，求调剂 +9 阿俊阿俊阿俊 2026-04-04 11/550 2026-04-08 10:56 by 学员Xf6pzY
[考博] 申博 +8 IQwQl 2026-04-04 8/400 2026-04-08 09:43 by 0608104024
[考研] 一志愿西南090202求调剂 +4 在线求有学上 2026-04-07 4/200 2026-04-07 19:47 by biomichael
[考研] 生物工程求调剂 +13 喜欢还是不甘心 2026-04-05 13/650 2026-04-07 16:55 by Ecowxq666！
[考研] 调剂 +4 mcbbc 2026-04-06 5/250 2026-04-07 12:33 by upczlm1989
[考研] 085100建筑学 寻求跨专业调剂 一志愿南大294分 校级省级国家级奖项若干 踏实肯干 +3 1021075758 2026-04-06 4/200 2026-04-07 09:23 by 蓝云思雨
[考研] 一志愿北京交通大学材料工程总分358求调剂 +4 cs0106 2026-04-04 4/200 2026-04-05 18:46 by imissbao
[考研] 调剂 +3 好好读书。 2026-04-02 3/150 2026-04-05 13:02 by arrow8852
[考研] 298求调剂 +7 manman511 2026-04-05 7/350 2026-04-05 10:29 by 唐沐儿
[考研] 材料调剂 +9 革微桂 2026-04-04 9/450 2026-04-05 08:27 by 544594351
[考研] 一志愿上海大学生物学346 +3 上海大学346调剂 2026-04-03 3/150 2026-04-04 20:20 by dongzh2009
[考研] 考研调剂 +3 15615482637 2026-04-03 3/150 2026-04-03 22:50 by ms629
[考研] 295求调剂 +3 尚偌呀 2026-04-03 4/200 2026-04-03 21:23 by zhq0425
[考研] 071000生物学调剂 +8 知昭蔓 2026-04-02 8/400 2026-04-03 10:36 by macy2011
[考研] 一志愿山东大学，085600，344 +7 魏子per 2026-04-02 8/400 2026-04-02 21:12 by 百灵童888
[考研] 377求调剂 +3 RASKIN 2026-04-02 3/150 2026-04-02 09:45 by zzchen2000
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭