24小时热门版块排行榜    

查看: 2346  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)


[交流] 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】

本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面,今天偶然对非抛光面看了看表面形貌(用的是金相显微镜),发现以下图片。
请指教:
1. 图片中的方形凸起是什么?非抛光面存在多晶Si吗?
2. 为什么会这样有序排列呢?

谢谢!
单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
非抛光面的金相观察



[ 来自小组 半导体器件 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的,因为硅片制造的时候,切片后要做一次腐蚀,然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么,因为有些片子背面是不处理的,有些要沉积多晶硅,有些要沉积氧化硅。
3楼2013-11-11 13:03:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

tony1988lau

木虫 (小有名气)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-11-11 16:40:34
我用单晶硅做沉积基底,未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧
2楼2013-11-11 12:56:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的,因为硅片制造的时候,切片后要做一次腐蚀,然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么,因为有些片子背面是不处理的,有些要沉积多晶硅,有些要沉积氧化硅。

谢谢
5楼2013-11-11 20:59:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by tony1988lau at 2013-11-11 12:56:50
我用单晶硅做沉积基底,未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧

谢谢。能够交流下您的SEM未抛光图片。发至我的邮箱jiaozuosunjia@163.com
6楼2013-11-11 21:01:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂,求各位老师收留 +8 秋有木北 2026-03-14 8/400 2026-03-16 15:21 by 哦哦123
[考研] 326求调剂 +4 上岸的小葡 2026-03-15 5/250 2026-03-16 08:39 by Linda Hu
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家,不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 265求调剂 +9 小木虫085600 2026-03-09 12/600 2026-03-14 01:11 by JourneyLucky
[考研] 一志愿安徽大学材料工程专硕313分,求调剂的学校 +8 Yu先生 2026-03-10 10/500 2026-03-14 01:04 by JourneyLucky
[考研] 求调剂,一志愿江南大学环境工程085701 +3 Djdjj12 2026-03-10 4/200 2026-03-14 00:31 by JourneyLucky
[考研] 2026考研调剂+本科延边大学+山东大学+生物化学与分子生物学+有项目经验 +3 ccdsscjy 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:12 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +7 7712b 2026-03-13 7/350 2026-03-13 21:42 by peike
[考研] 281求调剂 +9 Koxui 2026-03-12 11/550 2026-03-13 20:50 by Koxui
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 材料专硕350 求调剂 +4 王金科 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:02 by ruiyingmiao
[考研] 314求调剂 +7 无懈可击的巨人 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:40 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂 +3 S.H1 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:15 by JourneyLucky
[考研] 296求调剂 +3 大口吃饭 身体健 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:31 by 学员8dgXkO
[考研] 321求调剂(食品/专硕) +3 xc321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
[考研] 0857环境调剂 +5 熠熠_11 2026-03-10 5/250 2026-03-11 10:59 by wang_dand
[考研] 0703化学调剂 +3 三dd. 2026-03-10 3/150 2026-03-10 15:45 by peike
[考研] 一志愿:武汉理工,材料工程,英二数二 总分314 +3 2202020125 2026-03-10 4/200 2026-03-10 13:54 by xiongyaxuan
信息提示
请填处理意见