24小时热门版块排行榜    

查看: 2360  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)


[交流] 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】

本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面,今天偶然对非抛光面看了看表面形貌(用的是金相显微镜),发现以下图片。
请指教:
1. 图片中的方形凸起是什么?非抛光面存在多晶Si吗?
2. 为什么会这样有序排列呢?

谢谢!
单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
非抛光面的金相观察



[ 来自小组 半导体器件 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by tony1988lau at 2013-11-11 12:56:50
我用单晶硅做沉积基底,未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧

谢谢。能够交流下您的SEM未抛光图片。发至我的邮箱jiaozuosunjia@163.com
6楼2013-11-11 21:01:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

tony1988lau

木虫 (小有名气)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-11-11 16:40:34
我用单晶硅做沉积基底,未抛光面SEM也是这样的  个人认为排列成这样是因为切割过程使然  不知道楼主用未抛光面做什么  要是做外延生长的话 个人觉得 未抛光面取向是不同的  应该是多晶吧
2楼2013-11-11 12:56:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的,因为硅片制造的时候,切片后要做一次腐蚀,然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么,因为有些片子背面是不处理的,有些要沉积多晶硅,有些要沉积氧化硅。
3楼2013-11-11 13:03:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的,因为硅片制造的时候,切片后要做一次腐蚀,然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么,因为有些片子背面是不处理的,有些要沉积多晶硅,有些要沉积氧化硅。

谢谢
5楼2013-11-11 20:59:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-15 6/300 2026-03-17 11:05 by 学员h26Tkc
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 20:51 by 元子^0^
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 环境工程调剂 +6 大可digkids 2026-03-16 6/300 2026-03-16 17:16 by barlinike
[考研] 一志愿985,本科211,0817化学工程与技术319求调剂 +5 Liwangman 2026-03-15 5/250 2026-03-16 17:10 by 我的船我的海
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 材料工程327求调剂 +3 xiaohe12w 2026-03-11 3/150 2026-03-14 20:20 by ms629
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[基金申请] 有必要更换申报口吗 20+3 fannyamoy 2026-03-11 3/150 2026-03-14 00:52 by zhanghaozhu
[考研] 复试调剂 +9 Copy267 2026-03-10 9/450 2026-03-13 23:45 by userper
[考研] 341求调剂 +4 番茄头--- 2026-03-10 4/200 2026-03-13 23:12 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +3 番茄头--- 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:07 by JourneyLucky
[考研] 求调剂(材料与化工327) +4 爱吃香菜啦 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:11 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 +5 隔壁陈先生 2026-03-12 5/250 2026-03-13 22:03 by 星空星月
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +3 d如愿上岸 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:43 by houyaoxu
[考研] 274求调剂0856材料化工 +12 z2839474511 2026-03-11 13/650 2026-03-13 10:39 by peike
[考研] 大连大学化学专业研究生调剂 +3 琪久. 2026-03-10 8/400 2026-03-11 10:02 by 琪久.
[基金申请] 提交后的基金本子,已让学校撤回了,可否换口子提交 +3 dut_pfx 2026-03-10 3/150 2026-03-11 08:38 by kudofaye
信息提示
请填处理意见