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jzsunjia

金虫 (正式写手)

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帖子: 386
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虫号: 1992817

[交流] 单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】

本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面，今天偶然对非抛光面看了看表面形貌（用的是金相显微镜），发现以下图片。
请指教：
1. 图片中的方形凸起是什么？非抛光面存在多晶Si吗？
2. 为什么会这样有序排列呢？
谢谢！

非抛光面的金相观察

[ 来自小组半导体器件 ]

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1楼 2013-11-11 12:13:47

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tony1988lau

木虫 (小有名气)

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虫号: 1936470

★ ★
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nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-11-11 16:40:34

我用单晶硅做沉积基底，未抛光面SEM也是这样的个人认为排列成这样是因为切割过程使然不知道楼主用未抛光面做什么要是做外延生长的话个人觉得未抛光面取向是不同的应该是多晶吧

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2楼2013-11-11 12:56:50

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

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3楼2013-11-11 13:03:59

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jzsunjia

金虫 (正式写手)

应助: 4 (幼儿园)
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在线: 132.3小时
虫号: 1992817

引用回帖:

3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 13:03:59
你看到的这个是属于各向异性湿法腐蚀出来的，因为硅片制造的时候，切片后要做一次腐蚀，然后再做单面抛光。
但是表层材料很难说是什么，因为有些片子背面是不处理的，有些要沉积多晶硅，有些要沉积氧化硅。

谢谢

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5楼2013-11-11 20:59:41

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