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单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
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jzsunjia
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[交流]
单晶硅非抛光面的形貌观察【金相显微镜】
本人不是专门研究半导体的。从来只是用单晶硅的抛光面,今天偶然对非抛光面看了看表面形貌(用的是金相显微镜),发现以下图片。
请指教:
1. 图片中的方形凸起是什么?非抛光面存在多晶Si吗?
2. 为什么会这样有序排列呢?
谢谢!
非抛光面的金相观察
[ 来自小组
半导体器件
]
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