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铂衬底退火温度
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li1526290
铁虫
(初入文坛)
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帖子: 31
在线: 18.2小时
虫号: 2449460
注册: 2013-05-05
专业: 半导体材料
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求助
]
铂衬底退火温度
如题,铂衬底需要退火处理吗,温度多少
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1楼
2013-10-21 15:49:02
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gxytju2008
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(副教授)
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专业: 材料物理化学
管辖:
微米和纳米
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
磁控溅射的话不需要退火
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3楼
2013-10-21 20:34:10
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litao586
木虫
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doctor
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专业: 无机非金属类电介质与电解
【答案】应助回帖
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要退火的,400度左右
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(1人)
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新工作要加油,好好地干出点优秀的成绩!
2楼
2013-10-21 16:56:45
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马踏冰河
铁杆木虫
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虫号: 2453080
注册: 2013-05-07
专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
不用退火可以直接用 一般都是溅射上去的
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4楼
2013-10-21 21:38:49
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ninethink_s
新虫
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在线: 35.4小时
虫号: 355448
注册: 2007-04-25
专业: 机械工程
mjx150: 编辑内容
2014-02-17 10:12
您好,跟您请教一个问题。
我是溅射Pt,想提高热阻系数,需要退火,请问一般Pt的退火温度一般多少?
[
Last edited by mjx150 on 2014-2-17 at 10:12
]
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5楼
2014-02-16 19:16:32
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