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铁电薄膜的热处理晶化
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| 我用磁控溅射在常温下溅射的PZT铁电薄膜为什么怎么热处理都没有晶化的现象呢，是溅射工艺的原因还是常温溅射的原因，求高手解答！！！！ |
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