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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜的热处理晶化
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cjc2007

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜的热处理晶化

我用磁控溅射在常温下溅射的PZT铁电薄膜为什么怎么热处理都没有晶化的现象呢，是溅射工艺的原因还是常温溅射的原因，求高手解答！！！！
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1楼 2011-06-10 08:40:18
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:50:00
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:27
这个是常温溅射的原因，加热就好了。或者溅射完膜后，再退火试试，我是用磁控做的BST膜，你可以参考一下。溅射温度是600，退火是650度，30min
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正心修身！
5楼2011-07-06 21:37:46
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普通回帖

guody

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
zhaohaixing(金币+2): 谢谢交流~ 2011-06-12 08:39:19
没有晶化？是指测试XRD没有衍射峰？
可能性因素太多：
1 膜太薄，XRD设备分辨率不足，无法得到衍射峰；
2 直接做在Si衬底上，好像PZT是不能直接长在Si衬底上的，虽然膜漂亮，但是很难得到PZT相
3 热处理工艺需要摸索，升高温度
没有做过磁控，不过一般好像需要衬底加热的吧
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
2楼2011-06-12 07:45:25
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xiaoluany

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
cjc2007(金币+10): 2011-06-16 13:27:07
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-25 18:45:45
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:44
磁控衬底不加温经过后退火处理也是可以得到的，建议你再摸摸各方面的工艺参数
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3楼2011-06-12 09:49:16
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wxjabc

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-06-12 07:45:25:
没有晶化？是指测试XRD没有衍射峰？
可能性因素太多：
1 膜太薄，XRD设备分辨率不足，无法得到衍射峰；
2 直接做在Si衬底上，好像PZT是不能直接长在Si衬底上的，虽然膜漂亮，但是很难得到PZT相
3 热处理工艺需 ...

想问你一下，XRD检测分辨的最薄厚度是多少？
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4楼2011-06-25 11:44:33
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2011-07-06 21:37:46:
这个是常温溅射的原因，加热就好了。或者溅射完膜后，再退火试试，我是用磁控做的BST膜，你可以参考一下。溅射温度是600，退火是650度，30min

请问用什么设备？请问如何判断晶化情况？谢谢，
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善良
6楼2011-07-11 19:41:28
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tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

cjc2007(金币+10): 2011-09-21 16:56:09
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-07-11 19:41:28:
请问用什么设备？请问如何判断晶化情况？谢谢，

磁控溅射仪一般都自带加热及退火的装置。当然你也可以用管式炉加热，效果差不多，如何判断晶化就必须要用XRD了吧
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正心修身！
7楼2011-07-15 08:40:38
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2011-07-15 08:40:38:
磁控溅射仪一般都自带加热及退火的装置。当然你也可以用管式炉加热，效果差不多，如何判断晶化就必须要用XRD了吧

谢谢，我都用脉冲激光沉积。关于铁电回线的分析，请问有比较好的材料资料吗？
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善良
8楼2011-07-15 09:59:15
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Tommy8726

银虫 (小有名气)
对衬底加热吧，至少要到Tm的0.3左右啊，后退火能改善结晶，但是也仅仅是改善
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9楼2011-11-26 10:02:27
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)
应该是沉积的薄膜太薄了 ，我做过种子层 0.2mol的溶胶旋涂法一层大约有40nm,这样的厚度XRD是表征不到的
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天道酬勤
10楼2011-12-17 21:56:21
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