应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜的热处理晶化
111/2返回列表12下一页
查看: 2692  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

cjc2007

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜的热处理晶化

我用磁控溅射在常温下溅射的PZT铁电薄膜为什么怎么热处理都没有晶化的现象呢，是溅射工艺的原因还是常温溅射的原因，求高手解答！！！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-06-10 08:40:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:50:00
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:27
这个是常温溅射的原因，加热就好了。或者溅射完膜后，再退火试试，我是用磁控做的BST膜，你可以参考一下。溅射温度是600，退火是650度，30min
赞一下(2人) 回复此楼
正心修身！
5楼2011-07-06 21:37:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

guody

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
zhaohaixing(金币+2): 谢谢交流~ 2011-06-12 08:39:19
没有晶化？是指测试XRD没有衍射峰？
可能性因素太多：
1 膜太薄，XRD设备分辨率不足，无法得到衍射峰；
2 直接做在Si衬底上，好像PZT是不能直接长在Si衬底上的，虽然膜漂亮，但是很难得到PZT相
3 热处理工艺需要摸索，升高温度
没有做过磁控，不过一般好像需要衬底加热的吧
赞一下(1人) 回复此楼
求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
2楼2011-06-12 07:45:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoluany

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
cjc2007(金币+10): 2011-06-16 13:27:07
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-25 18:45:45
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:44
磁控衬底不加温经过后退火处理也是可以得到的，建议你再摸摸各方面的工艺参数
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-06-12 09:49:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxjabc

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-06-12 07:45:25:
没有晶化？是指测试XRD没有衍射峰？
可能性因素太多：
1 膜太薄，XRD设备分辨率不足，无法得到衍射峰；
2 直接做在Si衬底上，好像PZT是不能直接长在Si衬底上的，虽然膜漂亮，但是很难得到PZT相
3 热处理工艺需 ...

想问你一下，XRD检测分辨的最薄厚度是多少？
赞一下 回复此楼
4楼2011-06-25 11:44:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2011-07-06 21:37:46:
这个是常温溅射的原因，加热就好了。或者溅射完膜后，再退火试试，我是用磁控做的BST膜，你可以参考一下。溅射温度是600，退火是650度，30min

请问用什么设备？请问如何判断晶化情况？谢谢，
赞一下 回复此楼
善良
6楼2011-07-11 19:41:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

cjc2007(金币+10): 2011-09-21 16:56:09
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-07-11 19:41:28:
请问用什么设备？请问如何判断晶化情况？谢谢，

磁控溅射仪一般都自带加热及退火的装置。当然你也可以用管式炉加热，效果差不多，如何判断晶化就必须要用XRD了吧
赞一下 回复此楼
正心修身！
7楼2011-07-15 08:40:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2011-07-15 08:40:38:
磁控溅射仪一般都自带加热及退火的装置。当然你也可以用管式炉加热，效果差不多，如何判断晶化就必须要用XRD了吧

谢谢，我都用脉冲激光沉积。关于铁电回线的分析，请问有比较好的材料资料吗？
赞一下 回复此楼
善良
8楼2011-07-15 09:59:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tommy8726

银虫 (小有名气)
对衬底加热吧，至少要到Tm的0.3左右啊，后退火能改善结晶，但是也仅仅是改善
赞一下 回复此楼
9楼2011-11-26 10:02:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹林风bamboo

新虫 (小有名气)
应该是沉积的薄膜太薄了 ，我做过种子层 0.2mol的溶胶旋涂法一层大约有40nm,这样的厚度XRD是表征不到的
赞一下 回复此楼
天道酬勤
10楼2011-12-17 21:56:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 cjc2007 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 6/300 2026-09-16 15:24 by i3KBRD19ERkG
[找工作] 浙江师范大学是怎么坑我的 +7 recruit123 2026-09-09 7/350 2026-09-16 15:07 by 防腐剂科技部
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-16 14:27 by i3KBRD19ERkG
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +7 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 8/400 2026-09-16 14:24 by i3KBRD19ERkG
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 08:51 by SjQobnC04j06
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 4/200 2026-09-16 07:03 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-16 06:24 by LH5NkK5Ud4bh
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 5/250 2026-09-16 04:51 by LH5NkK5Ud4bh
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 04:47 by LH5NkK5Ud4bh
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-16 04:11 by DgNGHc3h5tPl
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-16 02:50 by DgNGHc3h5tPl
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-16 02:02 by DgNGHc3h5tPl
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 0pYnUiPDfdnk 2026-09-14 3/150 2026-09-15 19:35 by CgyNCDVNhGVg
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +7 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-15 16:23 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-15 15:14 by CgyNCDVNhGVg
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-15 14:58 by CgyNCDVNhGVg
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-15 14:22 by VMDqgnlKimtZ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-15 06:49 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-14 16:13 by Aj1rhIDL5ixY
[考博] 西北工业大学材料学院电化学传感与催化课题组招收2027年推免研究生、博士生、博士后 +3 马方园 2026-09-10 4/200 2026-09-14 09:29 by Chem张zz
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭