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cjc2007

铁虫 (初入文坛)

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专业: 无机纳米化学

[求助] 铁电薄膜的热处理晶化

我用磁控溅射在常温下溅射的PZT铁电薄膜为什么怎么热处理都没有晶化的现象呢，是溅射工艺的原因还是常温溅射的原因，求高手解答！！！！

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1楼2011-06-10 08:40:18

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Tommy8726

银虫 (小有名气)

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专业: 无机非金属类电介质与电解

对衬底加热吧，至少要到Tm的0.3左右啊，后退火能改善结晶，但是也仅仅是改善

9楼2011-11-26 10:02:27

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