应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜的热处理晶化
111/2返回列表12下一页
查看: 2754  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

cjc2007

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜的热处理晶化

我用磁控溅射在常温下溅射的PZT铁电薄膜为什么怎么热处理都没有晶化的现象呢，是溅射工艺的原因还是常温溅射的原因，求高手解答！！！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-06-10 08:40:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:50:00
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:27
这个是常温溅射的原因，加热就好了。或者溅射完膜后，再退火试试，我是用磁控做的BST膜，你可以参考一下。溅射温度是600，退火是650度，30min
赞一下(2人) 回复此楼
正心修身！
5楼2011-07-06 21:37:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

guody

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
zhaohaixing(金币+2): 谢谢交流~ 2011-06-12 08:39:19
没有晶化？是指测试XRD没有衍射峰？
可能性因素太多：
1 膜太薄，XRD设备分辨率不足，无法得到衍射峰；
2 直接做在Si衬底上，好像PZT是不能直接长在Si衬底上的，虽然膜漂亮，但是很难得到PZT相
3 热处理工艺需要摸索，升高温度
没有做过磁控，不过一般好像需要衬底加热的吧
赞一下(1人) 回复此楼
求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
2楼2011-06-12 07:45:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoluany

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
cjc2007(金币+10): 2011-06-16 13:27:07
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-25 18:45:45
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:44
磁控衬底不加温经过后退火处理也是可以得到的，建议你再摸摸各方面的工艺参数
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-06-12 09:49:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxjabc

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-06-12 07:45:25:
没有晶化？是指测试XRD没有衍射峰？
可能性因素太多：
1 膜太薄，XRD设备分辨率不足，无法得到衍射峰；
2 直接做在Si衬底上，好像PZT是不能直接长在Si衬底上的，虽然膜漂亮，但是很难得到PZT相
3 热处理工艺需 ...

想问你一下，XRD检测分辨的最薄厚度是多少？
赞一下 回复此楼
4楼2011-06-25 11:44:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2011-07-06 21:37:46:
这个是常温溅射的原因，加热就好了。或者溅射完膜后，再退火试试，我是用磁控做的BST膜，你可以参考一下。溅射温度是600，退火是650度，30min

请问用什么设备？请问如何判断晶化情况？谢谢，
赞一下 回复此楼
善良
6楼2011-07-11 19:41:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

cjc2007(金币+10): 2011-09-21 16:56:09
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-07-11 19:41:28:
请问用什么设备？请问如何判断晶化情况？谢谢，

磁控溅射仪一般都自带加热及退火的装置。当然你也可以用管式炉加热，效果差不多，如何判断晶化就必须要用XRD了吧
赞一下 回复此楼
正心修身！
7楼2011-07-15 08:40:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
Originally posted by tickychao206 at 2011-07-15 08:40:38:
磁控溅射仪一般都自带加热及退火的装置。当然你也可以用管式炉加热，效果差不多，如何判断晶化就必须要用XRD了吧

谢谢，我都用脉冲激光沉积。关于铁电回线的分析，请问有比较好的材料资料吗？
赞一下 回复此楼
善良
8楼2011-07-15 09:59:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tommy8726

银虫 (小有名气)
对衬底加热吧，至少要到Tm的0.3左右啊，后退火能改善结晶，但是也仅仅是改善
赞一下 回复此楼
9楼2011-11-26 10:02:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹林风bamboo

新虫 (小有名气)
应该是沉积的薄膜太薄了 ，我做过种子层 0.2mol的溶胶旋涂法一层大约有40nm,这样的厚度XRD是表征不到的
赞一下 回复此楼
天道酬勤
10楼2011-12-17 21:56:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 cjc2007 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +8 wangyl_123 2026-10-10 12/600 2026-10-13 20:40 by Merryya
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +9 Isak0320 2026-10-12 13/650 2026-10-13 11:57 by Isak0320
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +4 好运来～9527 2026-10-10 7/350 2026-10-13 08:41 by xli1984
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +6 13108017953 2026-10-08 6/300 2026-10-12 20:07 by w3w3y3
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？ +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭