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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜的热处理晶化
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cjc2007

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜的热处理晶化

我用磁控溅射在常温下溅射的PZT铁电薄膜为什么怎么热处理都没有晶化的现象呢，是溅射工艺的原因还是常温溅射的原因，求高手解答！！！！
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1楼 2011-06-10 08:40:18
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wxjabc

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-06-12 07:45:25:
没有晶化？是指测试XRD没有衍射峰？
可能性因素太多：
1 膜太薄，XRD设备分辨率不足，无法得到衍射峰；
2 直接做在Si衬底上，好像PZT是不能直接长在Si衬底上的，虽然膜漂亮，但是很难得到PZT相
3 热处理工艺需 ...

想问你一下，XRD检测分辨的最薄厚度是多少？
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4楼2011-06-25 11:44:33
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
zhaohaixing(金币+2): 谢谢交流~ 2011-06-12 08:39:19
没有晶化？是指测试XRD没有衍射峰？
可能性因素太多：
1 膜太薄，XRD设备分辨率不足，无法得到衍射峰；
2 直接做在Si衬底上，好像PZT是不能直接长在Si衬底上的，虽然膜漂亮，但是很难得到PZT相
3 热处理工艺需要摸索，升高温度
没有做过磁控，不过一般好像需要衬底加热的吧
赞一下(1人) 回复此楼
求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
2楼2011-06-12 07:45:25
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xiaoluany

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
cjc2007(金币+10): 2011-06-16 13:27:07
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-25 18:45:45
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:44
磁控衬底不加温经过后退火处理也是可以得到的，建议你再摸摸各方面的工艺参数
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-06-12 09:49:16
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tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:50:00
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:27
这个是常温溅射的原因，加热就好了。或者溅射完膜后，再退火试试，我是用磁控做的BST膜，你可以参考一下。溅射温度是600，退火是650度，30min
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正心修身！
5楼2011-07-06 21:37:46
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