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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜的热处理晶化
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cjc2007

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜的热处理晶化

我用磁控溅射在常温下溅射的PZT铁电薄膜为什么怎么热处理都没有晶化的现象呢，是溅射工艺的原因还是常温溅射的原因，求高手解答！！！！
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1楼2011-06-10 08:40:18
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tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:50:00
cjc2007(金币+20): 2011-09-21 16:55:27
这个是常温溅射的原因，加热就好了。或者溅射完膜后，再退火试试，我是用磁控做的BST膜，你可以参考一下。溅射温度是600，退火是650度，30min
赞一下(2人) 回复此楼
正心修身！
5楼2011-07-06 21:37:46
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tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

cjc2007(金币+10): 2011-09-21 16:56:09
引用回帖:
Originally posted by wiseroy at 2011-07-11 19:41:28:
请问用什么设备？请问如何判断晶化情况？谢谢，

磁控溅射仪一般都自带加热及退火的装置。当然你也可以用管式炉加热，效果差不多，如何判断晶化就必须要用XRD了吧
赞一下 回复此楼
正心修身！
7楼2011-07-15 08:40:38
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