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铁电薄膜的热处理晶化
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| 我用磁控溅射在常温下溅射的PZT铁电薄膜为什么怎么热处理都没有晶化的现象呢,是溅射工艺的原因还是常温溅射的原因,求高手解答!!!! |
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wiseroy
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6楼2011-07-11 19:41:28
guody
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2楼2011-06-12 07:45:25
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3楼2011-06-12 09:49:16
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4楼2011-06-25 11:44:33













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