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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于SEM/TEM/AES利用电子束轰击样品，造成样品电子束损伤的问题
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w778023076

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于SEM/TEM/AES利用电子束轰击样品，造成样品电子束损伤的问题 已有4人参与

利用电子束技术，可以得到样品内各种信息，从而催生了SEM/TEM/AES等的开发和普及。但是当电子束轰击样品时，会造成电子束损伤，如样品局部结构改变甚至部分样品熔融，想请教大家一个问题，初次电子束束斑大小（30nm/100nm/1μm）、束流（0.25nA/10nA/1μA）和电子束能量（3keV/10keV/50keV/100keV）分别造成多大的电子损伤，特别是在样品内会产生多高的温度？不知道大家有没有这方面的资料和文献，谢谢啦
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好好学习
1楼 2013-10-10 08:39:25
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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引用回帖:
8楼: Originally posted by 806860356 at 2015-04-24 22:00:07
大家有没有见过，样品在扫描时样品在变化，比如出现微纳裂纹、微纳结构的坍塌，微纳裂缝增大等等，这些现象怎么解释，是电子束温度效应吗，还是其他原因？？？？

很常见，解释要看情况，你样品导电性很好，就要考虑是不是有电子束效应，导电不好，就有可能是温度，或者就是含水啥的气化一类的，综合分析
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9楼2015-04-24 23:01:07
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tana3599102

金虫 (正式写手)
★
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这个好像取决于所用的材料吧！
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2楼2013-10-10 10:43:46
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w778023076

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by tana3599102 at 2013-10-10 10:43:46
这个好像取决于所用的材料吧！

跟材料的热导率也有关系，Egerton R F, Li P, Malac M. Radiation damage in the TEM and SEM[J]. Micron, 2004, 35(6): 399-409.这篇文章中具体提到了引起的温度变化，我觉得他说的是平均温度，我想知道电子束达到材料表面瞬时会不会引起高温，导致退火偏析等，具体温度会有多高。
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好好学习
3楼2013-10-10 10:52:38
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
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跟材料，导电性都有关系，很难说的，我做过导电性比较好熔点在200度的材料，不会化
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4楼2013-10-10 14:44:58
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