应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于SEM/TEM/AES利用电子束轰击样品，造成样品电子束损伤的问题
131/2返回列表12下一页
查看: 2770  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

w778023076

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于SEM/TEM/AES利用电子束轰击样品，造成样品电子束损伤的问题 已有4人参与

利用电子束技术，可以得到样品内各种信息，从而催生了SEM/TEM/AES等的开发和普及。但是当电子束轰击样品时，会造成电子束损伤，如样品局部结构改变甚至部分样品熔融，想请教大家一个问题，初次电子束束斑大小（30nm/100nm/1μm）、束流（0.25nA/10nA/1μA）和电子束能量（3keV/10keV/50keV/100keV）分别造成多大的电子损伤，特别是在样品内会产生多高的温度？不知道大家有没有这方面的资料和文献，谢谢啦
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
好好学习
1楼 2013-10-10 08:39:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

tana3599102

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个好像取决于所用的材料吧！
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-10-10 10:43:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
跟材料，导电性都有关系，很难说的，我做过导电性比较好熔点在200度的材料，不会化
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2013-10-10 14:44:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by w778023076 at 2013-10-10 16:52:31
在文献中大多提到的电子束效应引起的温度变化主要与样品热导率、电子剂量有关，引起的温度变化也是非常小的，一般只有几个k，我觉得这是平均温度，但是电子束作用点下的瞬时温度是多大，会不会引起沸点比较小的样品 ...

我目前遇到的样品都不会，感觉温度升高不会很多，平常的5kv，分析电流，有一些不稳定的样品倒是会变，像氯化银溴化银一类的，不过不知道是化学反应还是因为温度
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2013-10-10 17:05:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

w778023076

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by tana3599102 at 2013-10-10 10:43:46
这个好像取决于所用的材料吧！

跟材料的热导率也有关系，Egerton R F, Li P, Malac M. Radiation damage in the TEM and SEM[J]. Micron, 2004, 35(6): 399-409.这篇文章中具体提到了引起的温度变化，我觉得他说的是平均温度，我想知道电子束达到材料表面瞬时会不会引起高温，导致退火偏析等，具体温度会有多高。
赞一下 回复此楼
好好学习
3楼2013-10-10 10:52:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

w778023076

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-10-10 14:44:58
跟材料，导电性都有关系，很难说的，我做过导电性比较好熔点在200度的材料，不会化

在文献中大多提到的电子束效应引起的温度变化主要与样品热导率、电子剂量有关，引起的温度变化也是非常小的，一般只有几个k，我觉得这是平均温度，但是电子束作用点下的瞬时温度是多大，会不会引起沸点比较小的样品蒸发，如分析沸点小的包裹体，打下去会不会就挥发消失了，如果会，电子束剂量需要达到多大？
赞一下 回复此楼
好好学习
5楼2013-10-10 16:52:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kurpenn

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没有关注过，不过楼主换个思路从电子束蒸发的相关文献入手可能获得更多的信息！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
7楼2013-10-13 11:09:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

806860356

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
大家有没有见过，样品在扫描时样品在变化，比如出现微纳裂纹、微纳结构的坍塌，微纳裂缝增大等等，这些现象怎么解释，是电子束温度效应吗，还是其他原因？？？？
赞一下 回复此楼
8楼2015-04-24 22:00:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by 806860356 at 2015-04-24 22:00:07
大家有没有见过，样品在扫描时样品在变化，比如出现微纳裂纹、微纳结构的坍塌，微纳裂缝增大等等，这些现象怎么解释，是电子束温度效应吗，还是其他原因？？？？

很常见，解释要看情况，你样品导电性很好，就要考虑是不是有电子束效应，导电不好，就有可能是温度，或者就是含水啥的气化一类的，综合分析
赞一下 回复此楼
9楼2015-04-24 23:01:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

806860356

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-04-24 23:01:07
很常见，解释要看情况，你样品导电性很好，就要考虑是不是有电子束效应，导电不好，就有可能是温度，或者就是含水啥的气化一类的，综合分析...

塑料样品，聚乙烯(熔点100多)，有镀金，这种情况是不是高温效应!

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
10楼2015-04-25 13:50:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 w778023076 的主题更新
131/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 344求调剂 +4 knight344 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:27 by ruiyingmiao
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +16 不知道叫什么！ 2026-03-15 18/900 2026-03-17 17:05 by ruiyingmiao
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自动化所实习 +6 Losir 2026-03-12 7/350 2026-03-17 12:09 by danranxie
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +5 薛云鹏 2026-03-13 5/250 2026-03-17 10:15 by Sammy2
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +6 SUICHILD 2026-03-12 6/300 2026-03-17 09:24 by 雾散后相遇lc
[考研] 0854控制工程 359求调剂 可跨专业 +3 626776879 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:42 by 626776879
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 求老师收留调剂 +4 jiang姜66 2026-03-14 5/250 2026-03-15 20:11 by Winj1e
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 学硕285求调剂 +13 Wisjxn 2026-03-12 46/2300 2026-03-14 10:33 by JourneyLucky
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +6 步川酷紫123 2026-03-13 6/300 2026-03-13 21:59 by 星空星月
[考研] 一志愿西南交大，材料专硕317求调剂 +5 lx8568 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:43 by peike
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考研] 化工学硕306求调剂 +9 42838695 2026-03-12 9/450 2026-03-13 10:16 by houyaoxu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭