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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 硅片上镀PMMA膜问题求助
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zhuangyun169

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片上镀PMMA膜问题求助 已有1人参与

各位虫友，本人课题要在硅片上镀上聚合物薄膜，要求聚合物是PMMA、PC或PS，且所镀薄膜的粗糙度Ra在1nm左右，膜厚几十个nm。我现在用的是旋涂机将PMMA溶液涂覆在硅片上，但镀的膜的粗糙度达到了几十个nm。请问各位对这方面有经验的虫友，怎么能得到粗糙度小的薄膜？我镀膜前硅片就用pirahna溶液和乙醇溶液洗了一下，是不是还得增加其它处理硅片的步骤啊。谢谢 各位虫友了！
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1楼 2013-07-20 16:50:14
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zws3059

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
硅片的粗糙度多少，做之前做过检测没？
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2楼2013-07-23 15:45:46
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fangzhonga

银虫 (初入文坛)
正常的硅片的Ra都有好几个nm，你再甩胶上去，有十几个nm的Ra是很正常的。你这个要求有太高了。
一般来说，我们要把胶涂的更均匀，都是适当延长甩胶时间。你这个要求，甩涂估计很难实现。
要不你试一下CVD，应该可以。
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3楼2013-07-25 15:14:06
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

不知道LZ PMMA是怎么处理的，一般是将PMMA溶于溶剂中然后过滤下杂质颗粒再选涂；但是1nm的粗糙度要求确实有点高啊 现在抛光能做到1nm也不是很容易的事情吧
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4楼2013-08-23 16:55:15
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三分侠气

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你好，我也想做PMMA 的薄膜，请问溶剂和PMMA粉末的配比怎么确定啊？还有旋涂的转速？万谢
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5楼2014-10-07 18:45:43
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怪物琪琪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 三分侠气 at 2014-10-07 18:45:43
你好，我也想做PMMA 的薄膜，请问溶剂和PMMA粉末的配比怎么确定啊？还有旋涂的转速？万谢

请问怎么把PMMA膜旋涂的均匀并且薄一些呢?
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6楼2016-12-22 09:46:02
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