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硅片上镀PMMA膜问题求助 已有1人参与
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| 各位虫友，本人课题要在硅片上镀上聚合物薄膜，要求聚合物是PMMA、PC或PS，且所镀薄膜的粗糙度Ra在1nm左右，膜厚几十个nm。我现在用的是旋涂机将PMMA溶液涂覆在硅片上，但镀的膜的粗糙度达到了几十个nm。请问各位对这方面有经验的虫友，怎么能得到粗糙度小的薄膜？我镀膜前硅片就用pirahna溶液和乙醇溶液洗了一下，是不是还得增加其它处理硅片的步骤啊。谢谢 各位虫友了！ |
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2楼2013-07-23 15:45:46
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