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zhuangyun169

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片上镀PMMA膜问题求助 已有1人参与

各位虫友,本人课题要在硅片上镀上聚合物薄膜,要求聚合物是PMMA、PC或PS,且所镀薄膜的粗糙度Ra在1nm左右,膜厚几十个nm。我现在用的是旋涂机将PMMA溶液涂覆在硅片上,但镀的膜的粗糙度达到了几十个nm。请问各位对这方面有经验的虫友,怎么能得到粗糙度小的薄膜?我镀膜前硅片就用pirahna溶液和乙醇溶液洗了一下,是不是还得增加其它处理硅片的步骤啊。谢谢 各位虫友了!
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zws3059

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
硅片的粗糙度多少,做之前做过检测没?
2楼2013-07-23 15:45:46
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fangzhonga

银虫 (初入文坛)

正常的硅片的Ra都有好几个nm,你再甩胶上去,有十几个nm的Ra是很正常的。你这个要求有太高了。
一般来说,我们要把胶涂的更均匀,都是适当延长甩胶时间。你这个要求,甩涂估计很难实现。
要不你试一下CVD,应该可以。
3楼2013-07-25 15:14:06
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

不知道LZ PMMA是怎么处理的,一般是将PMMA溶于溶剂中然后过滤下杂质颗粒再选涂;但是1nm的粗糙度要求确实有点高啊 现在抛光能做到1nm也不是很容易的事情吧
4楼2013-08-23 16:55:15
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三分侠气

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你好,我也想做PMMA 的薄膜,请问溶剂和PMMA粉末的配比怎么确定啊?还有旋涂的转速?万谢
5楼2014-10-07 18:45:43
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怪物琪琪

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 三分侠气 at 2014-10-07 18:45:43
你好,我也想做PMMA 的薄膜,请问溶剂和PMMA粉末的配比怎么确定啊?还有旋涂的转速?万谢

请问怎么把PMMA膜旋涂的均匀并且薄一些呢?
6楼2016-12-22 09:46:02
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