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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 不锈钢基底上镀氮化钛膜，为什么XRD测试完全不看到膜的特征峰？
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

[求助] 不锈钢基底上镀氮化钛膜，为什么XRD测试完全不看到膜的特征峰？ 已有2人参与

首先排除了镀膜手法和测试的问题，
实验条件为直接用氮化钛靶材溅射，射频，台阶仪测厚度为200nm左右，在XRD中只看到不锈钢基底的峰，而且非常明显，完全看不懂氮化钛薄膜的峰。
请问：
难道是结晶性很差所以没有膜的特征峰是吗？是什么原因造成的呢？
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1楼 2015-01-01 11:51:39
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
表征薄膜一般都用小角度掠射吧！
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xsz2013
热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
3楼2015-01-02 08:27:13
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scienceand

新虫 (初入文坛)
有可能是膜的信号太弱，掠射角度需要调小一些，不然就对比不明显
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6楼2015-01-02 15:16:59
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lyjts123

新虫 (初入文坛)
要搞清楚XRD是什么东西，氮化钛是被溅射上去了，但只是胡乱堆积，不结晶怎么能有衍射峰呢？退火处理的过程就是再结晶的过程！至于掠射角，掠不掠都无所谓了，只是能更清晰的表征你的峰！
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11楼2015-01-04 15:52:48
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普通回帖

fangyalin

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xsz2013: 金币+5, ★★★很有帮助, 十分感谢！ 2015-01-02 12:37:06
200nm厚的膜如果用常规的XRD做物相检测的话，X射线可能直接穿过薄膜而扫在基底上面，XRD反应的是基底的峰。另一方面可能是膜的信号太弱，被基底的强信号掩盖掉了。或者将你的样品退火处理后再测，看是否有效果！
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艰难困苦，玉宇于成
2楼2015-01-01 19:10:55
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 穿越千年 at 2015-01-02 08:27:13
表征薄膜一般都用小角度掠射吧！

可是膜的特征峰所在度数较大，小角度掠射看不到特征峰呢，能够这样理解吗？
之前也看到说镀的膜XRD要小角度掠射，不知道为什么需要这样小角度掠射，能解释下吗？
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4楼2015-01-02 12:41:20
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ikio2010

金虫 (小有名气)
会不会膜峰和基底的重合了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2015-01-02 13:33:38
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by ikio2010 at 2015-01-02 13:33:38
会不会膜峰和基底的重合了

不会的，基底的峰对应的非常的好
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7楼2015-01-02 18:16:46
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by scienceand at 2015-01-02 15:16:59
有可能是膜的信号太弱，掠射角度需要调小一些，不然就对比不明显

我的理论知识有欠缺，想请教下，你说的膜信号太弱调小掠射角，但是膜的特征峰在角度比较大的地方，若掠射角调小了不就看不到特征峰了吗?
我这种认识有问题吗？
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8楼2015-01-02 18:18:59
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fangyalin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-01-02 18:18:59
我的理论知识有欠缺，想请教下，你说的膜信号太弱调小掠射角，但是膜的特征峰在角度比较大的地方，若掠射角调小了不就看不到特征峰了吗?
我这种认识有问题吗？...

小角掠射是避免将X射线打到基低，这个角度跟你特征峰没关系。建议你看看XRD小角掠射测膜的原理，看了你就会明白
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xsz2013
艰难困苦，玉宇于成
9楼2015-01-02 20:57:33
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by fangyalin at 2015-01-02 20:57:33
小角掠射是避免将X射线打到基低，这个角度跟你特征峰没关系。建议你看看XRD小角掠射测膜的原理，看了你就会明白...

十分感谢！
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10楼2015-01-03 10:01:22
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