应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 不锈钢基底上镀氮化钛膜，为什么XRD测试完全不看到膜的特征峰？
131/2返回列表12下一页
查看: 2672  |  回复: 12
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

xsz2013

铜虫 (小有名气)

[求助] 不锈钢基底上镀氮化钛膜，为什么XRD测试完全不看到膜的特征峰？已有2人参与

首先排除了镀膜手法和测试的问题，
实验条件为直接用氮化钛靶材溅射，射频，台阶仪测厚度为200nm左右，在XRD中只看到不锈钢基底的峰，而且非常明显，完全看不懂氮化钛薄膜的峰。
请问：
难道是结晶性很差所以没有膜的特征峰是吗？是什么原因造成的呢？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼2015-01-01 11:51:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
表征薄膜一般都用小角度掠射吧！
赞一下(4人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

xsz2013
热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
3楼2015-01-02 08:27:13
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

scienceand

新虫 (初入文坛)
有可能是膜的信号太弱，掠射角度需要调小一些，不然就对比不明显
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2015-01-02 15:16:59
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lyjts123

新虫 (初入文坛)
要搞清楚XRD是什么东西，氮化钛是被溅射上去了，但只是胡乱堆积，不结晶怎么能有衍射峰呢？退火处理的过程就是再结晶的过程！至于掠射角，掠不掠都无所谓了，只是能更清晰的表征你的峰！
赞一下(1人) 回复此楼
11楼2015-01-04 15:52:48
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

fangyalin

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xsz2013: 金币+5, ★★★很有帮助, 十分感谢！ 2015-01-02 12:37:06
200nm厚的膜如果用常规的XRD做物相检测的话，X射线可能直接穿过薄膜而扫在基底上面，XRD反应的是基底的峰。另一方面可能是膜的信号太弱，被基底的强信号掩盖掉了。或者将你的样品退火处理后再测，看是否有效果！
赞一下 回复此楼
艰难困苦，玉宇于成
2楼2015-01-01 19:10:55
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xsz2013

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 穿越千年 at 2015-01-02 08:27:13
表征薄膜一般都用小角度掠射吧！

可是膜的特征峰所在度数较大，小角度掠射看不到特征峰呢，能够这样理解吗？
之前也看到说镀的膜XRD要小角度掠射，不知道为什么需要这样小角度掠射，能解释下吗？
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-02 12:41:20
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ikio2010

金虫 (小有名气)
会不会膜峰和基底的重合了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
5楼2015-01-02 13:33:38
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by ikio2010 at 2015-01-02 13:33:38
会不会膜峰和基底的重合了

不会的，基底的峰对应的非常的好
赞一下 回复此楼
7楼2015-01-02 18:16:46
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by scienceand at 2015-01-02 15:16:59
有可能是膜的信号太弱，掠射角度需要调小一些，不然就对比不明显

我的理论知识有欠缺，想请教下，你说的膜信号太弱调小掠射角，但是膜的特征峰在角度比较大的地方，若掠射角调小了不就看不到特征峰了吗?
我这种认识有问题吗？
赞一下 回复此楼
8楼2015-01-02 18:18:59
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fangyalin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-01-02 18:18:59
我的理论知识有欠缺，想请教下，你说的膜信号太弱调小掠射角，但是膜的特征峰在角度比较大的地方，若掠射角调小了不就看不到特征峰了吗?
我这种认识有问题吗？...

小角掠射是避免将X射线打到基低，这个角度跟你特征峰没关系。建议你看看XRD小角掠射测膜的原理，看了你就会明白
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

xsz2013
艰难困苦，玉宇于成
9楼2015-01-02 20:57:33
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xsz2013

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by fangyalin at 2015-01-02 20:57:33
小角掠射是避免将X射线打到基低，这个角度跟你特征峰没关系。建议你看看XRD小角掠射测膜的原理，看了你就会明白...

十分感谢！
回复此楼
10楼2015-01-03 10:01:22
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xsz2013 的主题更新
131/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭