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不锈钢基底上镀氮化钛膜，为什么XRD测试完全不看到膜的特征峰？已有2人参与
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首先排除了镀膜手法和测试的问题， 实验条件为直接用氮化钛靶材溅射，射频，台阶仪测厚度为200nm左右，在XRD中只看到不锈钢基底的峰，而且非常明显，完全看不懂氮化钛薄膜的峰。 请问： 难道是结晶性很差所以没有膜的特征峰是吗？是什么原因造成的呢？ |
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11楼2015-01-04 15:52:48
2楼2015-01-01 19:10:55
穿越千年
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