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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 不锈钢基底上镀氮化钛膜，为什么XRD测试完全不看到膜的特征峰？
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lyjts123

新虫 (初入文坛)
要搞清楚XRD是什么东西，氮化钛是被溅射上去了，但只是胡乱堆积，不结晶怎么能有衍射峰呢？退火处理的过程就是再结晶的过程！至于掠射角，掠不掠都无所谓了，只是能更清晰的表征你的峰！
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11楼2015-01-04 15:52:48
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lyjts123

新虫 (初入文坛)
要搞清楚XRD是什么东西，氮化钛是被溅射上去了，但只是胡乱堆积，不结晶怎么能有衍射峰呢？退火处理的过程就是再结晶的过程！至于掠射角，掠不掠都无所谓了，只是能更清晰的表征你的峰！
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12楼2015-01-04 15:56:45
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alexaustin

新虫 (初入文坛)
楼主你们射频溅射的功率是多少(⊙o⊙)…以及是否有通入N2，做出来结果肿么样(⊙o⊙)…
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13楼2015-12-28 19:27:59
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