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台阶仪测膜厚度，这样的曲线正常吗？ 已有4人参与
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用硅片做了一个台阶，然后经台阶仪测试厚度。（曲线左侧为膜，右侧为基底） 但是经常发现探针在经过台阶处曲线变化并不明显（见截图1），而且取平后为什么左侧低于右侧呢（见截图2），不是应该有膜的地方厚度显然大于没有膜的地方吗？（这样的认识是我基于曲线越高对应的地方越厚，这样的认识对吗？） 还请各位指教,万分感谢！  1.jpg  2.jpg |
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