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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 台阶仪测膜厚度，这样的曲线正常吗？
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

[求助] 台阶仪测膜厚度，这样的曲线正常吗？ 已有4人参与

用硅片做了一个台阶，然后经台阶仪测试厚度。（曲线左侧为膜，右侧为基底）
但是经常发现探针在经过台阶处曲线变化并不明显（见截图1），而且取平后为什么左侧低于右侧呢（见截图2），不是应该有膜的地方厚度显然大于没有膜的地方吗？（这样的认识是我基于曲线越高对应的地方越厚，这样的认识对吗？）

还请各位指教,万分感谢！

台阶仪测膜厚度，这样的曲线正常吗？
1.jpg


台阶仪测膜厚度，这样的曲线正常吗？-1
2.jpg
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1楼 2015-01-22 15:38:51
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
关于台阶仪测量膜厚这方面了解的不多，接触性的测量方式误差在所难免。
我接触的比较多的都是非接触式的，比如显微分光光度计测量膜厚，面阻测试仪测量膜厚，这两方面了解比较多。
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2楼2015-01-22 16:14:15
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senyao

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

台阶是怎么制造的啊 感觉不太正常
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3楼2015-01-28 21:22:08
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perry_ping

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
xsz2013: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-04-14 22:14:51
测量单位太长了，短一点试试

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2015-03-11 16:52:33
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perry_ping

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

是测量距离太长了，把测量距离该小一点试试。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2015-03-11 16:53:31
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phoenixinsky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

膜厚多少？太薄的膜，几十纳米的还是用椭偏仪精确。

[ 发自小木虫客户端 ]
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6楼2015-03-11 20:19:31
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