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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电分析测试 » 【交流】如何测试ITO上渡的膜厚度
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wzzj

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】如何测试ITO上渡的膜厚度 已有8人参与

文献上说ITO上渡的膜厚度为3.5微米，请问这个值是如何测试出来的？
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1楼 2011-01-07 19:45:59
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小城妞妞

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by wzzj at 2011-01-07 19:45:59:
文献上说ITO上渡的膜厚度为3.5微米，请问这个值是如何测试出来的？

是否用原子力显微镜测得的，我不是学材料的，所以不知道你的ITO膜是如何涂上去的，但是原子力显微镜应该可以测得，我最近在涂覆气相色谱柱的固定液，也在考虑膜厚如何表征的问题，现在还没有想好呢。
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2楼2011-01-07 19:50:05
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wzzj

木虫 (著名写手)
★ ★
jiazang(金币+2): 谢谢参与！ 2011-02-11 22:21:58
引用回帖:
Originally posted by 小城妞妞 at 2011-01-07 19:50:05:

是否用原子力显微镜测得的，我不是学材料的，所以不知道你的ITO膜是如何涂上去的，但是原子力显微镜应该可以测得，我最近在涂覆气相色谱柱的固定液，也在考虑膜厚如何表征的问题，现在还没有想好呢。

可能用SEM可以测出来
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3楼2011-01-07 19:52:41
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TT5310

金虫 (正式写手)
★ ★
jiazang(金币+2): 谢谢参与！ 2011-02-11 22:22:08
台阶仪,SEM 都可以测
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面向阳光
4楼2011-01-08 02:35:31
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zlongz120

至尊木虫 (著名写手)

周而复始
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
用XPS应该可以，你咨询一下看看，俺只是听过能哈。
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海纳百川，有容乃大。
5楼2011-01-08 12:11:38
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hitprint

捐助贵宾 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
jiazang(金币+2): 谢谢参与！ 2011-02-11 22:22:26
3.5微米厚的膜好多东西都可以检测，不过AFM不太可行吧
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6楼2011-01-08 13:02:12
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xujuliang

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
jiazang(金币+3): 谢谢参与！建议做一个更加详细的回复（或必要时另开新帖），介绍一下相关内容。 2011-02-11 22:23:29
引用回帖:
Originally posted by wzzj at 2011-01-07 19:45:59:
文献上说ITO上渡的膜厚度为3.5微米，请问这个值是如何测试出来的？

都3.5μm了，用SEM就可以了，如果用台阶仪，要看台阶仪的测试上限了，AFM也是如此。
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7楼2011-01-08 13:20:25
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clfu2000

木虫 (著名写手)

小木虫村村长
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
jiazang(金币+2): 谢谢参与！ 2011-02-11 22:23:58
透明的可以用椭偏仪测啊

以前都是通过台阶仪测
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人之所以快乐 不是因为得到的多 而是因为计较的少 财富不是一生的朋友 而朋友是一生的财富！
8楼2011-01-08 15:39:04
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小城妞妞

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
很土的问一下，SEM测厚度的话是如何测的，是计算出来的还是在图片上度量呢？
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9楼2011-01-08 21:48:12
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x_iaolf

银虫 (初入文坛)

直接使用Step仪就可以

★ ★
jiazang(金币+2): 谢谢参与！ 2011-02-11 22:24:11
Step仪OK啦
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10楼2011-02-10 17:34:11
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