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wzzj

木虫 (著名写手)

[交流] 【交流】如何测试ITO上渡的膜厚度 已有8人参与

文献上说ITO上渡的膜厚度为3.5微米,请问这个值是如何测试出来的?
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xujuliang

铜虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
jiazang(金币+3): 谢谢参与!建议做一个更加详细的回复(或必要时另开新帖),介绍一下相关内容。 2011-02-11 22:23:29
引用回帖:
Originally posted by wzzj at 2011-01-07 19:45:59:
文献上说ITO上渡的膜厚度为3.5微米,请问这个值是如何测试出来的?

都3.5μm了,用SEM就可以了,如果用台阶仪,要看台阶仪的测试上限了,AFM也是如此。
7楼2011-01-08 13:20:25
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小城妞妞

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by wzzj at 2011-01-07 19:45:59:
文献上说ITO上渡的膜厚度为3.5微米,请问这个值是如何测试出来的?

是否用原子力显微镜测得的,我不是学材料的,所以不知道你的ITO膜是如何涂上去的,但是原子力显微镜应该可以测得,我最近在涂覆气相色谱柱的固定液,也在考虑膜厚如何表征的问题,现在还没有想好呢。
2楼2011-01-07 19:50:05
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wzzj

木虫 (著名写手)

★ ★
jiazang(金币+2): 谢谢参与! 2011-02-11 22:21:58
引用回帖:
Originally posted by 小城妞妞 at 2011-01-07 19:50:05:

是否用原子力显微镜测得的,我不是学材料的,所以不知道你的ITO膜是如何涂上去的,但是原子力显微镜应该可以测得,我最近在涂覆气相色谱柱的固定液,也在考虑膜厚如何表征的问题,现在还没有想好呢。

可能用SEM可以测出来
3楼2011-01-07 19:52:41
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TT5310

金虫 (正式写手)

★ ★
jiazang(金币+2): 谢谢参与! 2011-02-11 22:22:08
台阶仪,SEM 都可以测
面向阳光
4楼2011-01-08 02:35:31
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