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不锈钢基底上镀氮化钛膜,为什么XRD测试完全不看到膜的特征峰? 已有2人参与
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首先排除了镀膜手法和测试的问题, 实验条件为直接用氮化钛靶材溅射,射频,台阶仪测厚度为200nm左右,在XRD中只看到不锈钢基底的峰,而且非常明显,完全看不懂氮化钛薄膜的峰。 请问: 难道是结晶性很差所以没有膜的特征峰是吗?是什么原因造成的呢? |
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5楼2015-01-02 13:33:38

2楼2015-01-01 19:10:55
穿越千年
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寂寞读书的小和尚
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3楼2015-01-02 08:27:13
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