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其他溶剂对PMMA膜的腐蚀性
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其他溶剂对PMMA膜的腐蚀性
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将PMMA 溶于丙酮中,spin coating 成膜,PMMA膜做FET器件的绝缘层,然后再在PMMA膜上进行操作,乙醇和正己烷接触PMMA膜,请问乙醇对PMMA膜会有破坏吗?正己烷对已形成的PMMA膜会有破坏吗?还有没有其他的可以不用高温处理就可以成膜的绝缘材料?(如PMMA膜spin coating成膜)
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2014-03-27 19:51:27
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感谢参与,应助指数 +1
乙醇应该没影响。。。正己烷不知道
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2014-03-28 07:22:31
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2014-03-28 22:12:19
另外绝缘层我一般用的是polyimide,也是spin coat即可。
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4楼
2014-03-28 07:24:07
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